Spectroscopical diagnostics of molecular microwave plasmas

The paper presents a review of recent results of emission (UV/visible) and absorption (visible and IR) spectroscopical investigations in molecular tube and planar microwave discharges. As a new approach by emission spectroscopy seven band systems of the hydrogen molecule have been analysed to investigate H2 radiative characteristics and to determine the gas temperature completed by Doppler broadening measurements of Hα, Dα and H2 spectral lines. H2 dissociation continuum was used for an estimation of the radiative dissociation rate/degree. By absorption spectroscopy the populations of 4s ArI levels and concentrations of hydrocarbons (e.g. CH3, C2H2, CH4) were determined. In particular, investigations were focused on spatial distributions of plasma parameters.La publication présente un aperçu de nouveaux résultats de mesures de spectroscopie démission (UV/visible) et d'absorption (visible et Infrarouge) dans des décharges microondes moléculaires dans des tubes et en structure plane. La nouveauté consiste en l'analyse de l'émission de système à sept bandes de la molécule d'hydrogène. On étudie ainsi les caractéristiques radiatives de H2 et on détermine la température du gaz par des mesures d'élargissement Doppler des lignes spectrales de Hα, Dα et H2. Le continuum de dissociation de H2 est utilisé pour estimer le degré de dissociation radiative. Les populations des niveaux 4s de l'Ar I et les concentrations des hydrocarbures (par exemple CH3, C2H2, CH4) sont déterminés par spectroscopie d'absorption. En particulier on s'est intéressé à la distribution spatiale des paramètres du plasma

Diagnostic emission and absorption spectroscopy

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