Estruturas eletricas para avaliação de parametros litograficos em um processo defabricação de circuitos integrados

Orientadores: Furio Damiani, Curt Ego HenniesDissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia EletricaResumo: Neste trabalho apresentamos um conjunto de estruturas elétricas de teste para avaliação de parâmetros litográficos para serem empregadas na avaliação de um processo industrial de fabricação de circuitos integrados. Três foram os parâmetros investigados. A largura de linha, O overlay e a densidade de defeitos. Os circuitos de teste foram produzidos em um fabricante de circuitos integrados no exterior como parte do Projeto Multiusuário PMUCMOS 4. coordenado pelo Centro Tecno1ógico para a Informática. Foram fabricados 50 circuitos de teste composto por 9 estruturas de teste, distribuídos em duas colunas de 26 circuitos, dos quais foram avaliados 20 circuitos por coluna. Os resultados obtidos nos permitiram: 1) Avaliar a precisão do método de medidas de parâmetros litografia através de estruturas elétricas de teste; 2) Avaliar a efetividade das estruturas propostas em revelar através dos parâmetros básicos de litografia, as estratégias empregadas pelo fabricante e os parâmetros do processo litográficoAbstract: Not informed.MestradoMestre em Engenharia Elétric

Understanding the Formation of the Self-Assembly of Colloidal Copper Nanoparticles by Surfactant: A Molecular Velcro

Self-assembly procedure is employed to synthesize colloidal copper nanoparticles (ccNPs) with cationic surfactant in an environmentally friendly method. Scanning electron microscopy images provide a clear view of the ccNPs formed having an approximate size of 15 nm. The X-ray diffraction reveals that the ccNPs have the two types of copper oxide as well as the metallic copper. The new procedure shows that the cationic surfactant CTAB plays an important role in the understanding and development of self-assembly. There is a strong relationship between the ccNPs formation with the critical micelle concentration of the CTAB which influences both shape and size. The outcomes allowed the development of a molecular model for the ccNPs synthesis showing that the CTAB monomer on the surface has the function of a molecular velcro making the linkage of ccNPs to form an agglomerate with size around 600 nm. Finally, with the emerging new technologies, the synthesis of copper oxide takes a new perspective for their applicability in diverse integrated areas such as the flexible electronics and energy