Influência da densidade de potência e da porcentagem de N2 na atmosfera de deposição na dureza e no módulo de Young em filmes de aço inoxidável AISI 316 depositados por pulverização catódica

O processo de recobrimento por pulverização catódica é uma técnica amplamente utilizada para produção derevestimentos metálicos e cerâmicos, devido a versatilidade no controle das propriedades com pequenas mudançasnos parâmetros de processo, como densidade de potência aplica ao cátodo magnetron e atmosfera detrabalho. Sendo assim, as propriedades mecânicas dos filmes que estão altamente relacionadas à estruturacristalina e composição química podem ser controladas, tornando o processo viável para aplicações nas maisdiversas áreas. Utilizando-se um alvo de aço inoxidável AISI 316 foram depositados filmes com quatro valoresdiferentes de densidade de potência aplicada ao cátodo e com três porcentagens diferentes de N2 na atmosferade deposição. O objetivo é determinar a influência destes parâmetros na estabilização das fases alfa egama com estrutura cristalina cúbica de corpo centrado (CCC) e cúbica de face centrada (CFC), respectivamente.Os filmes obtidos foram caracterizados por difração de raios X, medida da espessura por microscopiaconfocal, dureza e módulo de Young por indentação instrumentada. Os resultados mostram que as variaçõesda densidade de potência aplicada ao cátodo resultam em filmes com estrutura CCC com dureza e módulo deYoung de 10,0 GPa e 210 GPa, respectivamente. Alterando-se a porcentagem de N2 na atmosfera de deposiçãoobteve-se filmes formados pela mistura das fases alfa e gama, com dureza e módulo de Young de 7,5GPa e 166 GPa, respectivamente.Palavras-chave: filmes finos, magnetron sputtering, aço inoxidável AISI 316, plasm