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CHOI, Hyo shik
학위논문(석사)----아주대학교 일반대학원 :전자공학과,2008. 2산화물 반도체 ZnO는 3.4eV의 넓은 에너지 밴드갭과 실온에서 60meV의 큰 exciton 결합에너지를 갖는 직접 천이형 Ⅱ-Ⅵ족 화합물 반도체이다. GaN와 같은 Wurtzeit 결정 구조이며 격자 부정합도가 2.2% 정도에 불과하여 계면에서의 결함밀도를 줄 일 수 있으며 큰 exciton binding energy는 고효율의 발광이 가능하여 LED,LD 제조에서 큰 주목을 받고 있다.
또한 박막 트랜지스터로 ZnO를 사용하는 경우 넓은 에너지 밴드 갭을 가지고 있기 때문에 가시광 노출에도 그 특성이 저하되지 않아 보호막이 필요 없게 되어 TFT 구조가 간단해지며 높은 채널 이동도로 인해 drive current가 높아 더 빠른 소자의 동작 속도를 얻을 수 있다. 투명한 산화물 반도체의 사용으로 픽셀의 개구율이 향상되므로 빛의 발광 및 빛의 효율을 높여주어 전력소모를 줄일 수 있으며 공기, 습도 등에 대한 안전성이 뛰어나며 습식 식각이 가능한 장점이 있다.
이러한 특성을 바탕으로 MOCVD(metal organic chemical vapor deposition)를 이용하여 ZnO-TFT를 제작하였다.
ZnO 박막의 성질은 SEM, XRD, PL, FE-SEM, SIMS의 측정을 통하여 관찰하였다. 성장 온도가 높을 수 록 박막의 질은 향상되었으나 TFT를 제작하여 mobility, on/off ratio를 측정한 결과 저온에서 성장한 박막이 더 좋은 결과를 보였다. SIMS의 측정 결과를 통해 수소의 농도가 영향을 미치는 것을 확인하였다. 수소가 defect passivation을 하여 mobility와 on/off ratio가 향상되었으며 이에 따라 MOCVD 성장 중 수소를 주입하여 얻은 박막의 특성을 측정한 결과 mobility와 on/off ratio가 향상되는 결과를 얻었다.
따라서 ZnO-TFT의 mobility, on/off ratio는 ZnO 박막에 포함된 수소의 농도에 따라 높은 mobility와 on/off ratio를 얻을 수 있다는 결론을 얻었으며 이는 성장 온도 및 조건 그리고 수소 가스의 주입으로 그 특성을 향상 시킬 수 있다.제Ⅰ장. 서론 = 1
제Ⅱ장. 본론 = 4
제1절. 실험 방법 = 4
제1항. ZnO 박막 성장 및 ZnO-TFT 제작 = 4
제2절. 성장 온도에 따른 ZnO 박막의 실험 결과 = 7
제1항. SEM 측정 결과 = 7
제2항. XRD 측정 결과 = 9
제3항. FE-SEM 측정 결과 = 10
제4항. ZnO 박막의 SIMS 측정 결과 = 16
제5항. PL 측정 결과 = 17
제6항. ZnO-TFT의 current-voltage 특성 = 18
제3절. MOCVD로 성장한 ZnO 박막 내부의 Hydrogen의 역할 = 20
제1항. 실험방법 = 20
제2항. 실험결과 = 20
제4절. MOCVD로 ZnO 박막 성장 중 Hydrogen gas 주입 = 22
제1항. 실험방법 = 22
제2항. 실험결과 = 23
제Ⅲ장. 결론 = 27
참고문헌 = 28
Abstract = 30MasterZinc oxide(ZnO) has attracted considerable attention as a promising wide-gap semiconductor for utilization in display and optoelectronic devices. Optical transparency and high mobility at amorphous state are advantages of ZnO over other semiconductor materials. Various growth methods, such as molecular beam epitaxy (MBE), sputtering, pulsed-laser deposition (PLD), and metal organic chemical vapor deposition (MOCVD), have been used. Among these, MOCVD has advantages for industry, since it can be applied to large-size substrates more easily. The problem associated with MOCVD is that gas concentration in ZnO is higher than in ZnO grown by other methods. The purpose of our study is to realize high quality ZnO thin-film transistor by MOCVD.
Since a ZnO semiconductor is transparent in the visible and there for less light sensitive. ZnO-TFT(thin film transistor) characteristics is stable from air because it is already oxidized and has fast on/off ratio due to high channel mobility. One of the main advantages exhibited by these transistors lies on the magnitude of the electron channel mobility leading to higher drive currents and faster device operating speeds.
We used metal organic chemical vapor deposition (MOCVD) to grow ZnO. ZnO-TFT was fabricated by evaporating Al through shadow masks. Measurements of secondary ion mass spectroscopy (SIMS), x-ray diffraction (XRD), scanning electron microscopy (SEM) and photoluminescence (PL) showed reasonable film quality. They showed that crystal quality improves as growth temperature is increased from 200oC to 500oC. SIMS results show that our ZnO films have significant amount of C and H, even without the additional H2. More C and H were incorporated into the film at lower growth temperature.
Current-voltage data of ZnO-TFT grown at 250℃ showed 12 ㎠/V·sec mobility and 10^(7) on/off ratio, with -5V threshold voltage. Without H₂ flow,on/off ratio of our TFT was very poor. Our results give some answer for the role of hydrogen. In our case, we observed that higher hydrogen concentration at low growth temperature improves mobility. This result is in contradiction with general case where higher growth temperature improves mobility.
Our result suggests that in MOCVD grown ZnO, crystal quality is not a main factor in determining TFT characteristics. The higher mobility in 250℃ grown sample is due to defect passivation by the higher hydrogen concentration
The Study and analysis on the management and change for 'Eoyeongcheong' from the Financial perspective between the 17th century and the first half of the 18th century
Effects of Strategy to Help Repeated Memory Retrieval on Students Memory and Metacognitive Judgments: Moderating Effects of Academic Achievement Level
본 연구의 목적은 문제집 활용 학습 과정에서 학습자의 반복적인 인출을 촉진하는 방법으로 문제집이 아닌 정답지에 정답을 적게 하고, 채점은 문제집에 한 다음, 복습 과정에서 인출을 유발하게 하는 것이 일반적인 문제집 풀이 과정보다 학습자의 기억과 메타인지적 판단에 더 긍정적인 영향을 미칠 수 있는지 확인하는 것이었다. 이를 위해 경상남도와 경기도에 소재한 2개 초등학교 5학년과 2개 중학교 1학년 총 12개 학급 308명을 대상으로 연구를 진행하였으며, 연구결과는 다음과 같다. 첫째, 초등학교와 중학교 모두 반복 인출을 촉진하는 문제집 풀이 방법이 학습자들이 일반적으로 수행하고 있는 단일 인출 문제집 풀이 방법보다 학습자의 기억에 긍정적인 영향을 미치는 것으로 나타났다. 둘째, 학습자의 기억에 대한 학업성취 수준과 문제집 풀이 방법 간 상호작용 효과는 확인되지 않았다. 셋째, 초등학교의 경우 반복 인출 문제집 풀이 방법이 단일 인출 문제집 풀이 방법보다 메타인지적 판단 정확도에 더 긍정적인 영향을 미치는 반면, 중학교의 경우 문제집 풀이 방법에 따른 메타인지적 판단 정확도에 차이가 없는 것으로 나타났다. 넷째, 학업성취 수준별로 보았을 때 초등학교의 (하) 성취집단에서만 메타인지적 판단 시점과 문제집 풀이 방법 간에 메타인지적 판단 정확도에 미치는 상호작용 효과가 나타났다. 본 연구결과는 반복적인 인출을 촉진하는 문제집 풀이 방법이 학습효과를 높일 수 있음을 시사한다.The purpose of this study was to examine the effects of workbook using strategy that let students to mark answers on answer sheet and to make correction on workbook first, then encourage students to retrieve by these correction at workbook on students memory and metacognitive judgment rather than a typical workbook using strategy in learning. Data was collected from 308 elementary and middle school and it generally supported our hypotheses. As a result, first, the new workbook using strategy that we proposed were led studentssolid memory than the previous strategy. Students who used the new proposed strategy reported significantly higher memory in both elementary and middle school. Second, however, the effects of new proposed strategy were not differentiated by studentsachievement level. Third, in terms of metacognitive judgement, the new proposed strategy led significantly higher accuracy in elementary schol while it was not in middle school. Especially, students with low achievement in elementary school showed a significant benefit from the interactive effects between a time for metacognitive judgement and a workbook using strategy on their metacognitive accuracy. To summarize, the new proposed workbook strategy which encourages repeated retrieval may facilitate studentsacademic performance than previous strategy which encourage students to retrieve only once
Relation of Students' Achievement, Encoding and Retrieval in Middle and High School
본 연구의 목적은 학업성취도와 부호화 전략, 인출 전략 간의 관계에 관한 연구가 부족하다는 문제의식에 근 거하여 이들 변인 간의 관계를 규명하고, 학습자들이 가지고 있는 인출 전략에 대한 인식을 탐색하는 것이었다. 이를 위해 서울 소재 중・고등학생들을 대상으로 설문지를 활용하여 학업성취, 무(無)전략, 부호화 전략으로 시 연, 조직화, 정교화, 그리고 인출 전략을 측정하였다. 분석 결과, 학업성취도와 인출, 정교화, 시연, 조직화 전략 순으로 높은 정적 상관이 있는 것으로 나타났다. 또한 위계적 회귀분석 결과, 전통적 예측변인인 무(無)전략, 시 연, 정교화, 조직화 전략에 의해 설명되는 학업성취도에 대한 변량 이외에 인출 전략이 5%의 유의한 증분 설명 력을 지니는 것으로 확인되었다. 그리고 학업성취 상·하 집단에 따라 인출 전략의 사용과 인식에 차이를 보였는 데, 고성취 집단은 저성취 집단보다 인출 전략을 더 많이 사용하며 학습기제로서의 인출 전략의 중요성을 더 높게 인식하는 것으로 나타났다. 본 연구는 학업성취를 향상시킬 수 있는 학습전략으로서의 인출의 효과를 경험 적으로 확인하였다는 점에서 의의를 가진다.
The purpose of this study was to investigate the relation of students' achievement and learning strategy (encoding, retrieval) and, explore students awareness of retrieval based on students lack awareness of the relation among achievement, encoding and retrieval. To investigate students' study behaviors, we surveyed middle and high school students and asked them to rate their grade, strategies they used when studying (no-strategy, rehearsal, organization, elaboration, and retrieval). The results of this study were as follows. First, achievement and all strategy had a positive correlation. Especially, retrieval had the most high correlation, followed by elaboration, organization and rehearsal. Second, retrieval showed 7% incremental variance on students' achievement beyond variance explained by no-strategy, rehearsal, organization, elaboration by hierarchical regression analysis. Finally, high achievement group were more likely to use retrieval rather than low achievement group, and high achievement group realized highly the benefits of retrieval to enhance learning. The main implication of this study was that effects of retrieval that improve students academic achievement empirically were verified
The Relationships among Error Perception, Subjective Well-being, and Academic Achievement
본 연구의 목적은 학습자의 실수에 대한 인식에 관한 다중 심리적 속성에 접근한 연구가 부족하다는 문제의식에 근거하여 학습자의 실수 인식에 대한 잠재적 집단을 도출하여 각 집단에 속해있는 학습자의 특성을 파악하고, 잠재적 집단 분류에 따라 학업적 자기평가와 주관적 안녕감에 차이가 있는지 살펴보는 것이었다. 이를 위해 서울, 경기, 경북 소재 6개 대학교에 재학 중인 364명을 대상으로 실수에 대한 인식, 주관적 안녕감 및 학업적 자기평가에 대한 설문을 실시하고, 잠재프로파일분석, 다변량분산분석, 일원분산분석을 활용하여 분석을 하였다. 분석 결과, 학습자의 실수에 대한 인식은 실수로부터 학습할 수 있다는 생각, 실수를 도전적으로 받아들이는 태도, 실수의 활용방안에 대한 고찰, 그리고 실수에 대한 긴장의 다중 속성에 의해 (1) 실수 활용 초점 집단, (2) 실수 불안 초점 집단, (3) 실수 예방 초점 집단의 세 개 하위 잠재 집단으로 구분되었으며, 실수를 활용하는데 초점을 맞출수록 학습자들의 주관적 안녕감과 학업적 자기평가 수준이 높은 것으로 확인되었다. 본 연구결과는 교육 현장에서 미래인재를 양성할 때 평가적인 관점에서 실수의 발생 자체에 관심을 두고 이를 예방하기 위해 노력하는 것도 중요하지만, 실수가 발생했을 때 어떻게 받아들이고 대처해야하는지를 가르치는 것이 실수를 추후 학습에 활용하는 데 있어 더욱 효과적일 수 있음을 시사한다. The purpose of this study was to explore the latent groups of learners error perception and to examine the relationships with academic achievements and subjective well-being among
latent groups. Survey data from 364 university students enrolled at universities in Seoul and 5 near metropolitan cities were used to analyzed. As a result, three groups were generated regarding students beliefs in learning from errors, preferences for risk-taking, effort for thinking about errors, and strain on errors: (1) error management focused group (2) error strain focused group (3) error prevention focused group. In order to examine the significant differences among indices of learners error perception, a Multivariate Analysis of Variance and One-way ANOVA were conducted. As a results, students subjective well-being and academic achievements showed significant different patterns among groups. In detail, learners with high academic achievements and subjective well-being were more likely to focus how to manage their errors and have positive perceptive of errors. The findings of this study suggest there is a need to encourage that students could obtain positive perception of errors to display potential of errors in learning
Multi-level Analysis of the Effects of Secondary Teachers' Background and Socio-psychological Variables on Teachers' Teacher-efficacy
본 연구의 목적은 중등교사의 배경변인과 사회심리적 변인이 교사효능감에 미치는 영향을 개별 변인 및 상호 작용의 효과로 확인하는 것이다. 이를 위하여 한국교육개발원에서 수집한 한국교육종단자료 중 3차년도의 교사, 학생 및 학교 자료를 활용하였다. 연구결과, 교사 배경변인 중 교사효능감에 유의한 영향을 미치는 변인은 교사 의 경력과 직위로 나타난 반면, 성별과 최종학력은 교사효능감과 유의한 관계를 나타내지 않았다. 사회심리적 변인에서는 동료교사와의 소통이 많을수록, 의사결정참여 빈도가 높을수록 교사효능감이 높아지는 것으로 나타 난 반면, 행정업무부담과 교사갈등, 그리고 학생들의 학업성취도와 자기효능감 수준은 통계적으로 유의한 관련 성이 없는 것으로 확인되었다. 교사의 배경변인과 사회심리적 변인 간의 상호작용 탐색 결과, 교사의 성별과 학 생의 학업성취도, 교사의 성별과 학생의 자기효능감, 교사의 경력과 행정업무부담, 교사의 경력과 학생의 자기효 능감, 교사의 직위와 교사갈등, 교사의 학력과 행정업무부담 간에 상호작용 효과가 확인되었다. 이 중 학업성취 도, 자기효능감, 행정업무부담은 교사효능감과 직접적인 관계를 나타내지는 않았지만 교사 배경변인과 상호작용 하여 교사효능감에 영향을 미치는 것으로 확인되었다. 본 연구결과는 교사의 배경 변인과 사회심리적 변인이 독립적으로 그리고 상호작용을 통하여 교사효능감에 영향을 미치는 것을 경험적으로 확인하였다는 측면에서 의 의가 있다. 확인된 연구결과를 바탕으로 교사효능감의 증진을 위한 교육현장에 대한 시사점이 논의되었다.
The purpose of this study was to examine the effects of teachers' socio-psychological variables on teacher-efficacy and identify the interaction patterns with teachers' background variables. This study used the 3rd year Korean Education Longitudinal Study(KELS) data collected by Korean Educational Development Institute(KEDI). Among teachers' background variables, teachers' career and status showed significant relations to teacher efficacy, whereas teachers' gender and educational background showed no significant ones. In case of socio-psychological variables, communication among fellow teachers and participation in making decision processes predicted teacher efficacy, whereas pressure from administrative duties, conflicts among teachers, students' academic achievement, and self-efficacy showed no significant predictions. Interaction effects were observed between teachers' background variables and socio-psychological variables; they included interactions between teachers' gender and students' academic achievement, between teachers' sex and students' self-efficacy, between teachers' career and pressure from administrative duties, between teachers' career and students' self-efficacy, between teachers' status and conflicts among teachers, and between teachers' educational background and pressure from administrative duties. Specifically, although students' academic achievement, self-efficacy, pressure of administrative duties showed no significant direct predictive relations to teacher efficacy, these variables showed significant indirect precdictive relations on teacher efficacy through interactions with teachers' background variables. The results are helpful in developing administrative and educational systems in order to enhance teacher efficacy
