Micro switch

본 발명에 따른 마이크로 스위치는 전자기력과 정전기력으로 구동을 하고 스위칭 상태는 정전기력을 이용해서 유지한다. 정전기력에 비해서 상대적으로 큰 힘인 전자기력으로 구동하기 때문에 기계적으로 단단한 구조의 스위치를 사용할 수 있고 정전기력만을 이용한 구동방식과 달리 스위치를 오프(off) 시킬 때에도 전자기력을 이용하여 반대방향으로 힘을 가할 수 있기 때문에 높은 전력을 가지는 신호를 안정적으로 오프 (off) 시킬 수 있다. 또한, 스위칭 상태는 정전기력만을 이용해서 유지하기 때문에 전력소모는 스위칭하는 순간에만 발생하므로 저전력 동작이 가능하고, 정전기력은 스위치의 상태유지에만 쓰이므로 저전압 동작이 가능하다. 마이크로, 스위치, 전자기력, 정전기력, 캔틸레

Electromagnetically actuated micromirror actuator andmanufacturing method thereof

두축 자유도를 가지며 전자기력에 의하여 구동되는 미소거울 구동기 및 그 제조방법에 관하여 개시한다. 본 발명의 장치는, 기판과, 기판과 연결되도록 형성된 기판 내측에 형성된 프레임과, 프레임과 연결되도록 프레임 내측에 형성된 미소거울과, 기판과 프레임을 연결하는 제1 및 제2 토션바와, 프레임과 미소거울을 연결하는 제3 및 제4 토션바와, 기판에 연결되도록 형성된 네 개의 외팔보들과, 외팔보들과 프레임을 연결하는 네 개의 연결바들과, 외팔보들 및 미소거울 상면에 형성되는 도선들과, 기판 외측에 설치되는 제1 및 제2 자석을 구비하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 외부에서 인가한 전자기장을 이용해서 발생시킨 전자기력에 의하여 두 축을 중심으로 구동이 가능하므로 큰 힘과 큰 회전각도를 얻을 수 있고 신뢰성 있는 동작이 가능하며, 외부의 충격에도 강한 기계적으로 강한 구조를 가지고, 5V 이하의 낮은 전압에서도 동작할 수 있으며, SOI 기판의 상부 실리콘층을 거울면으로 사용하기 때문에 평평한 거울면을 얻을 수 있게 된다.미소거울, 전자기력, 프레임, 토션바, 도선, 자

Low-voltage and low-power toggle type - SPDT(SinglePole Double Throw) rf MEMS switch actuated bycombination of electromagnetic and electrostatic forces

본 발명에 따른 토글방식의 SPDT 마이크로 스위치는, 자장발생수단에 의해서 발생하는 자장을 이용해서 생긴 전자기력으로 구동하고, 정전기력으로 스위칭 상태를 유지하면서, 입력포트가 항상 두개의 출력포트 중의 어느 하나에 연결되도록 하는 것을 특징으로 한다. 정전기력에 비해서 상대적으로 큰 힘인 전자기력을 이용해서 스위칭을 하기 때문에 신뢰성 있는 동작이 가능하고, 기계적으로도 강한 구조를 가질 수 있으며, 높은 전력신호를 다룰 수 있다. 또한, 초기 변위를 크게 할 수 있어서 오프 시에 큰 절연(isolation)값을 얻을 수 있다. 스위칭 순간 후에는 전자기력을 이용하지 않고 두 전극 사이가 가까워진 상태에서의 정전기력을 이용해서 온 상태를 유지하기 때문에, 상대적으로 낮은 전압으로 구동이 가능하고, 스위칭 순간에만 전자기력 발생을 위한 전류를 인가하기 때문에 전력소모가 적다. 토글(toggle) 방식으로 하나의 스위치만으로 SPDT를 구현하고, 또 이러한 스위치가 MEMS 제작기법에 의해 하나의 기판 상에 집적되기 때문에 전체적인 소자의 크기가 매우 작다. 토글 스위치, SPDT, 전자기력, 정전기력, MEMS

Tunable optical filter

본 발명은 한 쌍의 반사체들로 구성된 패브리-페로 캐버티의 한 반사체를 로렌츠 힘 또는 압전박막에 의한 구동력으로 변위시켜 투과하는 빛의 파장을 가변시킴으로써 구현되는 가변 광학 필터에 관한 것이다. 캐버티를 이루는 한 반사체는 고정되어 있고 다른 하나의 반사체는 스프링 구조에 연결된 지지체 상에 위치하며, 스프링 구조는 자신에 도선 또는 압전박막과 전극을 포함한다. 도선에 전류를 흘리면서 외부 자장을 인가하면 도선에 힘이 가해지며, 전극에 전압을 가해도 압전박막을 통해 힘이 가해진다. 이에 의해 스프링 구조가 변형되어 반사체들 사이의 간격이 변화함으로써, 필터를 통과하는 빛의 파장이 변화한다.로렌츠 힘, 가변 광학 필터, 패브리-페로, 반사체, 스프링, MEMS, 압전박

SPM probe tips using heavily boron-doped silicon cantilevers realized in <110> bulk silicon wafer

학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 전기및전자공학전공, 2000.2, [ iii, 60 p. ]한국과학기술원 : 전기및전자공학전공