A Study on Measurement of Critical Dimension Using Multispectral Illumination Optical System

학위논문 (석사)-- 서울대학교 대학원 : 기계항공공학부, 2014. 2. 박희재.본 논문에서는 다파장 광원 광학계를 이용하여 투명 박막의 Critical Dimension 측정에 관한 연구를 수행하였다. 기존 측정법의 경우, 투명 박막의 투명성과 얇은 박막의 특성으로 인해 정확한 측정이 어려웠다. 광학 현미경으로 투명 박막을 측정할 경우, 투명 박막의 패턴이 측정 이미지에서 보이지 않는 현상이 발생한다. 이를 해결하기 위해 반사도 이론에 입각하여, 기존의 광학계에서 백색광 광원 대신, 일련의 단파장의 빛을 광원으로 사용하는 시스템을 제안하였다. 제안된 시스템은 백색광 광원 앞에 Acousto-optic tunable filter를 장치하여, 단파장으로 필터링 된 광원을 파장별로 시편에 조명하는 장비로 구성되었다. 제안된 시스템으로 투명 박막 전극인 Indium Tin Oxide의 Critical Dimension 측정을 수행하였다. 실험 결과 특정한 파장의 광원에서, 투명 박막의 패턴이 뚜렷하게 보여 Critical Dimension측정에 성공하였다. 투명 박막의 측정 파장대를 선정하기 위해, Microscope reflectometer로 측정한 반사도 결과와 비교하였다. Critical Dimension의 측정의 필수 단계인 경계추출에서 경계를 이루는 두 부분의 반사도 차이를 크게 하는 파장대일수록 Critical Dimension 측정에 성공함을 알 수 있었다. 선정된 파장에서 제안된 시스템의 성능 검증을 위해 반복 측정을 하였다. 제안된 시스템의 반복 정밀도는 0.02μm이하의 좋은 성능을 보였다.국문초록 .................................................................................... i 목차 .................................................................................................. ii 그림 목차 ....................................................................................... iv 표 목차 ..................................................................................... v 기호 설명 .............................................................................. vi 약어 설명 ................................................................................................ vii 1. 서론 ................................................................................................ - 1 - 1.1. 연구 배경.............................................................................. - 1 - 1.2. 연구 동향.............................................................................. - 2 - 1.3. 연구 내용.............................................................................. - 3 - 2. 이론적 배경 .................................................................................... - 4 - 2.1 Critical Dimension 측정 ........................................................ - 4 - 2.1.1 픽셀 수준의 경계 추출 ................................................ - 4 - 2.2 투명 박막의 패턴의 가시 유무 .............................................. - 6 - 2.2.1 패턴의 가시 유무 판별 ................................................ - 7 - 2.2.2 광원이 백색광인 경우 .................................................. - 7 - 2.2.3 광원이 단파장광인 경우............................................... - 8 - 2.3 반사도 .................................................................................... - 9 - 2.3.1 광원의 파장에 따른 광학적 상수의 변화 ..................... - 9 - 2.3.2 광원의 파장에 따른 반사도의 변화 ............................ - 11 - 2.3.2 반사도와 이미지 밝기값 ............................................. - 12 - 3. 다파장 광원 광학계 ...................................................................... - 13 - 3.1 Acousto-Optic Tunable Filter ........................................... - 13 - 3.2 기존 백색광 광원 광학계 ..................................................... - 14 - 3.3 다파장 광원 광학계 ............................................................. - 15 - 4. 실험 결과 ..................................................................................... - 16 - iii 4.1 파장별 실험 결과 ................................................................. - 17 - 4.2 파장대 선정을 위한 반사도 측정 ......................................... - 20 - 4.2.1 Microscope Reflectometer ....................................... - 20 - 4.2.2 패턴 반복과 반사도 차이 곡선 .................................. - 21 - 4.2.3 측정 파장대 영역 선정의 기준 .................................. - 22 - 4.3 측정값의 보정 ...................................................................... - 23 - 4.4 반복 측정의 결과 ................................................................. - 24 - 5. 결론 .............................................................................................. - 25 - 5.1 다파장 광원 광학계를 이용한 투명박막 패턴의 가시화 ....... - 25 - 5.2 Microscope Reflectometer를 이용한 투명 박막 측정 파장대 선정 ...................................................................................................... - 25 - 5.3 제안된 시스템의 성능 .......................................................... - 25 - 5.4 공정 관리에서의 적용 .......................................................... - 26 - A. Atomic Force Microscopy 측정법 ......................................... - 29 - B. Tomographic Method ............................................................. - 31 - C. Indium Tin Oxide의 특성 ....................................................... - 32 - D. AOTF의 구동 원리 ................................................................. - 33 - ABSTRACT ..................................................................................... - 35 -Maste

칼라 카메라를 이용한 투명 박막의 표면 형상 및 두께 측정을 위한 비주사 간섭계

학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :공과대학 기계항공공학부,2019. 8. 박희재.본 논문은 수직 주사 없이 투명 박막의 표면 형상과 두께를 동시 측정하는 방법을 제안한다. 주사 간섭계는 디스플레이 및 반도체 산업에서 측정 대상의 표면 형상 검사에 주로 사용된다. 주사 간섭계는 비파괴 및 비접촉식 검사를 고속으로 수행할 수 있는 장점이 있지만, 측정 환경이나 측정 샘플의 구성, 특히 투명 박막이 존재할 경우 측정 정확도 및 반복도가 저하되기 쉽다. 샘플의 표면 형상을 측정하기 위해, 주사 간섭계는 등간격마다 간섭신호를 얻어야 한다. 그러나, 빠른 주사 속도 또는 외부 진동에 의해 매 측정 단계마다 동일한 간격을 유지하는 것은 쉽지 않다. 샘플의 상부 표면상에 투명 박막이 존재하는 경우, 필름과 기판사이의 계면에서 일어나는 다중 반사 때문에, 일반적인 주사 간섭계 알고리즘으로는 상부 표면 신호와 하부 신호의 구분이 쉽지 않다. 기존 연구의 경우 두 문제 각각에 대한 연구는 많이 진행되었으나, 이 두 가지 문제가 동시에 존재할 때에 대해서는 그 해법이 많지 않았다. 안정적인 측정을 위해서는 두 가지 문제를 해결해야 한다. 따라서, 본 논문에서는 수직 주사 없이, 투명 박막의 두께 및 표면 형상 측정 방법을 제안하였다. 제안된 시스템은 두 대의 칼라 카메라, 블록 플레이트가 있는 Michelson 간섭계 렌즈 및 RGB Mixture 조명으로 구성된다. 칼라 카메라로부터 적,녹,청 채널로 분광된 이미지를 동시에 얻을 수 있다. 첫번째 카메라는 각 채널에서 샘플로부터 반사된 빛을 분광하여 얻는다. 나머지 한대의 카메라는 bandpass filter를 통과하여 중심 파장이 이동된 신호를 획득한다. 간섭계 렌즈는 빔 스플리터를 통해 샘플 경로 및 기준 거울 경로의 광경로 차이를 이용한다. 기준 거울에 대한 광경로를 차단하는 블록 플레이트를 이용하여, 두 단계 측정이 가능하다. 블록 플레이트가 기준 거울에 대한 경로를 차단할 때, 제안된 시스템은 분광 반사계와 유사한 구조로 박막의 두께를 측정한다. 샘플에서 반사된 빛은 두 칼라카메라의 각 채널에 대해 분광되어 이미징된다. 여섯 개의 이미지 채널로부터 얻어진 분광신호와 반사도 모델과의 비선형 피팅을 통해 박막의 두께가 결정된다. 이미지 내의 모든 픽셀에 대한 필름의 두께가 계산되면, 블록플레이트를 해제하여, 표면 형상을 측정한다. 여섯 개의 채널에 대해 제안된 간섭식 모델링으로부터 상부 표면 형상을 측정할 수 있다. 시뮬레이션과 측정 실험을 통해 제안된 시스템과 방법을 검증하였다. 측정 시스템에 기반한 시뮬레이션을 통해 제안된 시스템의 타당성을 검증하였다. 제안된 시스템의 측정 범위의 한계는 3.5 μm 이하로 실제 주사간섭계가 측정하기 힘든 박막 영역에 대해서 충분히 측정 가능함을 확인하였다. 측정 실험으로는 Si 기판 위 SiO2가 계단형으로 증착된 표준 웨이퍼와 Si 기판 위 두 종류의 Photoresist를 두께 별로 코팅한 샘플을 측정하여 방법을 검증하였다. 두께 측정의 경우 기존의 분광 반사계와 비교하였고, 표면 형상 측정의 경우 표준 웨이퍼의 경계마다 단차 높이를 두께 측정과 비교하여 검증하였다. 제안된 방법은 비주사 측정으로 투명 박막의 두께와 표면형상을 동시에 측정 가능하며, 3%의 측정 정확도와 기존 측정 반복도보다 개선되었음을 확인하였다.The research in this dissertation aims at the simultaneous measurement for surface profile and thickness of the transparent thin film without vertical scanning. Vertical Scanning Interferometry (VSI) as a surface profiler is widely used in the field of Liquid Crystal Display, Organic Light Emission Diode, and semiconductor manufacturing. VSI has the advantages of non-destructive and non-contact type inspection with high speed. However, its measurement performance easily degrades by the environmental conditions and measurement sample composition, especially the existence of the transparent thin-film. In order to analyze surface data of the sample, VSI needs vertical scanning with equidistant intervals. It is not easy to take the same interval for every vertical measurement step under vibration condition. When it comes to the transparent thin-film on the top surface of the sample, it is hard to distinguish the top surface from the bottom layer for the general VSI algorithm, due to the multiple reflections at the interface between the film and the substrate. This background leads to a false analysis of the top surface. Thus, VSI has two main problems: vulnerability to the vibration and transparent thin-film effect. With those two problems, measurement accuracy may lower. Previous researches on solving each problem have been well established. However, there have been few studies on solving both problems at the same time. Solving the two problems is needed to make stable measurements. Thus, the measurement for the thickness of the transparent thin-film and the surface without any vertical scanning has been proposed. The proposed system consists of two color cameras, Michelson type interferometric lens with a block plate, and RGB mixture light source. Color cameras are used to get spectral intensities for the red, green, and blue channels simultaneously. The first camera gets the spectral intensity for each channel as the reflected light. The other camera acquires the central wavelength shifted signal, which penetrates through the bandpass filter. The Michelson interferometric lens utilizes beam splitter to make optical path difference for the sample path and the reference mirror path. Block plate, which blocks the mirror path for the light, is used for the two-step measurement. When the block plate is on, it blocks the mirror path and the system measures the thickness of the transparent thin-film, which is similar to the reflectometry system. Reflected light from the sample is imaged onto two color cameras so that the spectral signal of each channel is acquired. By the non-linear fitting of the spectral signal from the six channels with the reflectance model, the thickness of each pixel in the image is determined. Once the thickness of the film for every pixel is calculated, the block plate is off to measure the top surface profile. With the interferometric modeling of six channels, the top surface profile is calculated. The proof and validity of the proposed method are accompanied by the simulations and the experimental measurements. From the simulation, the proposed system can measure the thickness up to 3.5 μm, which is difficult to measure in VSI. For the measurement, silicon dioxide film on the silicon substrate, which is a standard step wafer and two kinds of photoresist film over the silicon substrate were measured for both thickness measurement and the surface measurement. The thickness measurement of the proposed system and algorithm are compared with the conventional method of reflectometry. The surface profile measurements are verified by comparing the step height of each segment boundary of the standard step wafer. The proposed method is non-scanning and measures both thickness and surface of the transparent thin film with high measurement accuracy and improved measurement repeatability.ABSTRACT i TABLE OF CONTENTS iv LIST OF FIGURES vii LIST OF TABLES xii ABBREVIATIONS xiii Chapter 1. Introduction 1 1.1. Research motivation 1 1.2. Trends of research 5 1.3. Research objectives and coverage 8 Chapter 2. Background theory 9 2.1. Principle of reflectance 9 2.1.1. Refraction and reflection of light 9 2.1.2. Fresnel coefficient and reflectance 11 2.1.3. Reflectance of single-layered structure 12 2.2. Reflectometry 15 2.3. Principle of interferometry 18 2.3.1. Phase shifting interferometry 20 2.3.2. White light scanning interferometry 24 2.3.3. White light phase shifting interferometry 29 Chapter 3. Non-scanning interferometry 32 3.1. Phase shift method 32 3.2. Non-scanning interferometry using polarization 34 3.2.1. Polarization optics 35 3.2.2. Pixelated phase mask 37 3.2.3. Four cameras with the polarizers 40 3.3. Non-scanning interferometry using dispersion 43 3.3.1. Spectrally resolved interferometry 43 3.3.2. Multi-wavelength interferometry 46 Chapter 4. Thickness measurement in interferometry 48 4.1. Transparent thin film effect on interferometry 48 4.2. Frequency analysis 52 4.3. Modeling method for color camera vertical scanning interferometry 56 Chapter 5. Non-scanning method of simultaneous measurement for surface and thickness using color camera 58 5.1. Thickness measurement 60 5.2. Surface measurement 66 5.3. Compensation method 74 5.3.1. Wavelength shift for additional color camera 74 5.3.2. Image intensity compensation by light distribution modeling 75 Chapter 6. Experimental setup 78 6.1. Entire system diagram 78 6.2. Configuration of optics 80 6.2.1. Michelson type interferometric objective lens with block plate 80 6.2.2. Three channel color camera 82 6.2.3. Three channel mixture LED light 84 6.2.4. Bandpass filter 86 Chapter 7. Simulation result 87 7.1. Simulation setup 87 7.2. Silicon dioxide film on the silicon substrate 87 7.2.1. Thickness measurement verification 90 7.2.2. Thickness measurement limitation 90 7.2.3. Surface measurement verification 94 7.3. Photoresist film on the silicon substrate 95 7.3.1. Thickness measurement verification 97 7.3.2. Thickness measurement limitation 97 7.3.3. Surface measurement verification 100 Chapter 8. Experimental result 103 8.1. Standard step wafer 105 8.2. Photoresist sample 113 Chapter 9. Conclusion 119 BIBLIOGRAPHY 121 APPENDIX 126 A. Principle of ellipsometry 126 B. Characteristics of photoresist 128 C. Equivalent systems of proposed method 136 ABSTRACT IN KOREAN 141Docto

베제클릭(Bezeklik) 38굴 壁畵 硏究

Bezeklik caves located in Trufan of Xinjiang Uyghur autonomous region are known to be magnificently decorated Buddhist temples, which deserve the name of the area, 'splendid ornamented region'. Since Moriyasu Takao(森安孝夫) recognized those as Manichaean caves in the early nineties by deciphering Uyghur inscription and Chao huashan(晁華山) released new studies on Manichaean caves in Trufan, however, Bezeklik cave 38 has been considered to be a norm showing a pattern for Manichaean paintings and architecture. Trufan where Bezeklik located had had a series of conflicts between nomadic tribes and Chinese for ages, nurturing diverse and complicated cultures. Therefore, it is no wonder Manichaeism and Nestorianism to have been introduced and espoused in the region, though Buddhism had been firmly rooted. Since Manichaeism was originated in the third century in Iran, it had quickly spread to the world by using a variety of paintings and translated materials. Under Zoroastrians' persecution, however, it stopped making overseas expansions and settled down in Samarkant. Most of the followers were Sogdian merchants, enabling Manichaeism to be introduced to China at early age. Manichaeism was also introduced to Uyghur when the third Khan Bogo in eastern Uyghur visited the Loyang to put down a revolt of Sajoyi(史朝義) in 762 and took Manichaean monks with him. Since then, Manichaeism had been strongly patronized by the Khan because its believers' activities had played significant roles in running the nation and strengthening the Khan's power. However, Manichaeism was strongly influenced by Buddhism when Uyghur pursued by Qirghiz moved its capital to Trufan where Buddhism had flourished at the time. Manichaeism had been on the decline since then, and Manichaean temples were replaced with Buddhist ones in early 11th century. Bezeklik also have Buddhist wall paintings made in Uyghur period, but Moriyasu discovered Manichaean caves by deciphering Uyghur inscription at Bezeklik caves 27, 35 and 38. Chao huashan also identified one fourth of the Bezeklik as Manichaean caves later. None of those, however, has unimpaired Manichaean wall painting except for Bezeklik cave 38. The cave 38, a typical example of Manichaean temple, is a norm for Manichaean caves with its unique characteristics of double-walled cave structure. Its wall is decorated with three trees of life from which a bunch of grapes are suspended, donors, peacocks, and ten guardian spirits which can be classified as warrior type, those with two wings type, Hindu God type, aristocracy type, and complicate type compare with manuscript paintings. Two musicians surrounding cinta-mani(摩尼寶珠) are repeatedly seen in the upper part of western wall, and sting of pearls and vine patterns are repeated in the lower part of the wall. Such composition was originated in Sogdian area, but cinta-mani, the shape of the tree of life, and some dresses of guardian spirits were taken from Dunhuang Buddhist paintings, showing it loads both old and new ideas together. The cave 38's white wall is a unique trait of Bezeklik Manichaean temple, different from those of a number of manuscript paintings and deep blue backdrop of wall paintings from Gaochang. It can be seen to reflect their own ideas that express light with white color, but it can be simply interpreted to have been influenced by other cultures like temple banner or some manuscript paintings. It is especially remarkable for white wall paintings to be found in Nestorianism arts which have direct influence on Manichaeism. Another important trait to note is that figures in the paintings are described only with black line. This trait, which is different from a technique to contour figures with black and red line and express a cubic effect with shading, is found in those paintings heavily influenced by Buddhism and Trufan. In addition, figures in black line look a lot flat when compared with Iranians who look like westerners. They are rather similar to donors shown in Buddhist wall paintings from Uyghur. Chao huashan believes that the cave 38 had been created during the 9th or 10th century based on his archeological methodology. Moriyasu argues that it had been constructed around the 10th century or later based on business documents of Bezeklik temples. Indeed, paintings of the cave 38 would be produced between the late 9th century when Uyghur entered Trufan region and the 11th century when Buddhism had full-fledged supports by Uyghur. Its double-walled structure also shows that the cave 38 was created before the 11th century when Manichaeism gave its dominate status to Buddhism. In this research, I tried to presume a possible period to produce wall paintings with making the best use of techniques to contour figures in wall paintings. I believe the paintings contoured with black line from Cave 38 should be placed later in the Manichaeism's time since those with red and black line or shading are ahead of the times. ;신장위구르자치구(新疆維吾爾自治區) 투르판에 위치한 베제클릭(柏孜克里克, Bezeklik) 석굴은 '아름답게 장식된 곳'이라는 이름에 걸맞게 화려하게 장엄된 불교굴로 알려져 있다. 그런데 90년대 초반 모리야츠 다카오(森安孝夫)가 위구르 銘文을 해독함으로써 마니굴을 판별해 내고, 차오화샨(晁華山)이 투르판 마니굴에 관한 새로운 연구를 발표한 이래, 베제클릭 38굴은 마니교 회화와 건축의 규범을 제시하는 기준굴로 부각되어 왔다. 베제클릭이 있는 투르판은 오랜 기간 동안 유목민족과 중국인 간의 쟁탈전이 끊이지 않았던 곳이어서 다양하고 복합적인 문화가 형성되었다. 그러므로 불교가 천년 이상 뿌리내리고 있었음에도 불구하고, 摩尼敎와 景敎가 유입되어 신봉될 수 있었던 것이다. 이 중 마니교는 3세기 이란에서 시작된 이래 회화를 활용한 傳敎와 다양한 번역 사업을 통해 세계 각지로 뻗어나갔으나, 조로아스터교도들의 박해로 사마르칸트에 정착하였다. 이곳에서 교화된 신도의 대부분이 소그드 상인이었기에 마니교가 일찍이 중국에 전해졌으며, 동위구르의 3대 카간 뵈귀(Bo¨go¨)가 762년경 史朝義의 반란을 진압하기 위해 낙양에 왔다가 마니 승려들을 데려감으로써 위구르에 수용되었다. 이후 마니교도들의 경제 활동은 카간의 권력 강화 및 제국 경영에 크게 기여했으므로 왕의 적극적인 후원을 받았다. 그러다가 위구르가 키르기즈에 쫒겨 당시 불교가 성행했던 투르판으로 西遷한 이후에는 불교화 되었다. 그러나 마니교는 점차 쇠퇴하였으며, 11세기 초에는 마니교 사원이 불교 사원으로 대체되었다. 그리하여 베제클릭 역시 대부분 위구르기에 제작된 불교 벽화가 남아있으나, 모리야츠가 27, 35, 38굴 등에서 위구르 銘文을 해독하여 마니굴의 존재를 밝혀내었다. 이후 차오화샨도 베제클릭의 1/4에 해당하는 19개의 굴을 마니굴로 판명하였다. 그러나 이중에 마니교 벽화가 온전하게 남아있는 경우는 없고, 비교적 38굴만이 벽화가 잘 남아있다. 38굴은 마니교의 대표적인 석굴로서 二重窟의 구조를 보이고 있어 마니굴의 준거 기준이 된다. 내벽에는 포도가 달린 세 줄기의 生命樹와 공양자 부부, 孔雀, 열 명의 守護靈 등이 그려져 있는데, 특히 수호령은 경전화들과의 비교를 통해 武士形, 有翼形, 印度神, 貴族形, 複合形 등으로 분류될 수 있다. 서벽 상단에는 摩尼寶珠(cinta-mani)를 중심으로 두 奏樂人이 한 무리를 이뤄 반복 전개되고, 하단에는 聯珠紋과 唐草紋이 연속되고 있다. 서벽의 이러한 구도는 소그드 지역에서 기원한 것이나, 보주, 내벽의 생명수의 형태와 일부 수호령의 복식은 敦煌 불화에서 차용한 것이어서 新舊의 요소가 혼재함을 알 수 있다. 또한 38굴의 흰 벽은 다수 經典畵와 고창 출토 벽화들의 남색 배경과는 구분되는, 베제클릭 마니굴의 독특한 양식이다. 이는 빛을 흰색으로 표현하는 조형 의식이 반영된 것일 수도 있겠으나, 旗幡畵나 일부 경전화에서처럼 다른 문화로부터 영향 받은 것일 수도 있다. 특히 마니교에 직접적인 영향을 준 景敎 예술에서 흰색의 벽화가 발견되었다는 점은 주목할 만하다. 인물들이 墨線으로만 표현되었다는 점 역시 중요한 특징이다. 이는 묵선과 朱線으로 윤곽선을 그리거나 바림으로써 입체감을 표현하는 기법과 구별되며, 불교의 영향과 투르판의 지역성이 강하게 드러나는 작품들에서 확인된다. 게다가 묵선으로 그려진 인물들은 深目高鼻의 이란인보다 편평한 인상으로 위구르기 불교 벽화의 공양자들과 유사하다. 38굴의 조성 시기에 대해 차오화샨은 고고학적 방법론을 이용하여 9세기부터 10세기 경으로 파악하였다. 또한 모리야츠는 베제클릭 사원 경영 문서를 근거로 10세기 혹은 그 이후로 보았다. 실제로 38굴 벽화는 돈황 불교 도상의 차용과 이중굴이라는 구조적 특성으로 미루어 보아, 10세기 경부터 마니굴에서 불교굴로의 전환이 이루어진 11세기 사이에 조성된 것으로 보인다. 또한 인물의 표현 기법으로 벽화의 상대적인 제작 시기를 추정한 결과, 주선과 묵선을 함께 쓰거나 훈염법을 사용한 것이 선행 양식이므로, 묵선으로 그려진 38굴 벽화는 마니교 예술 속에서 보다 후대의 것으로 자리매김할 수 있다.論文槪要 = ⅲ Ⅰ. 머리말 = 1 Ⅱ. 투르판의 종교 문화 = 6 A. 투르판의 역사 = 6 B. 투르판 불교 문화 = 8 1. 투르판 불교의 성격 = 8 2. 불교 예술 = 9 C. 마니교와 투르판 위구르 = 11 1. 마니교의 성격 = 11 2. 위구르의 마니교 수용 = 18 3. 투르판의 마니교 예술 = 23 Ⅲ. 베제클릭 석굴 = 31 A. 석굴 개관 = 31 B. 불교굴 = 33 C. 마니굴 = 38 Ⅳ. 베제클릭 38굴 고찰 = 44 A. 구조적 특징 = 44 B. 벽화의 성격 = 46 1. 도상 = 46 2. 양식 및 기법 = 71 3. 制作時期 = 79 Ⅴ. 맺음말 = 82 參考文獻 = 85 圖版目錄 = 96 揷圖·表目錄 = 98 圖版 = 99 ABSTRACT = 10

A Study on Pubsang school of Silla

학위논문(박사)--서울大學校 大學院 :國史學科,1995.Docto

Quality improvement of music recommendation based on link prediction with multiple user feedbacks

학위논문(석사) - 한국과학기술원 : 전산학부, 2017.8,[iii, 33 p. :]데이터의 홍수 속에서 추천 시스템은 사용자 취향에 맞는 추천 결과를 제공하여 사용자가 만족할 수 있는 결정을 내리도록 도와준다. 기존의 전통적인 추천 기법들은 사용자의 취향을 파악하는데 있어 선호도를 명시적으로 확인할 수 있는 평점 기록만을 사용해왔다. 하지만 대부분의 사용자는 자신의 선호를 평점을 통해서 직접적으로 드러내지 않으며, 부족한 평점 기록의 양 때문에 많은 추천 기법은 정확한 추천 결과를 얻는데 어려움을 겪고 있다. 본 논문에서는 사용자가 본인의 행동으로 직간접적인 선호 표현을 남기는 음악 스트리밍 서비스에서 수집된 다양한 종류의 사용자 행동 기록을 종합적으로 고려하는 링크 예측 기반의 음악 추천 기법을 제안한다. 실험을 통해서 희소한 사용자 행동 기록 데이터 속에서도 제안 방법이 다른 추천 기법보다 우수한 성능을 보이고 있음을 확인한다.한국과학기술원 :전산학부

『昭顯乙酉東宮日記』로 본 昭顯世子의 죽음

『昭顯乙酉東宮日記』는 1645년(인조 23) 소현세자 侍講院에서 기록한 관청일기이다. 2월 17일부터 윤6월 12일까지 약 5개월 간의 기록 가운데 2월 20일부터 29일, 윤6월 2일부터 10일까지의 일기는 없고, 4월 11일부터 22일까지는 원본의 훼손이 심하여 내용의 일부만 알 수 있다. 그러나 소현세자의 죽음과 실제 거행된 장례 절차에 대한 자세한 기록을 전하고 있다. 일기의 내용을 바탕으로 『인조실록』과 대조하며 소현세자의 죽음과 상례에 대하여 살펴보았는데 주요 내용은 다음과 같다. 먼저 8년 간의 볼모살이에서 풀려나 귀국한 소현세자의 병세가 악화되어 4월 26일 죽음에 이르게 된 과정, 세자의 병증과 의관들의 치료에 대한 자세한 기록이 실려 있다. 다음으로 招魂에서 脫服에 이르는 장례의 거행 과정과 함께, 국왕이 결정한 喪禮에 대하여 短喪은 正禮가 아니니 정례를 회복할 것을 청한 삼사 관원들의 반대 여론 및 세자의 상에 시강원이 행한 服制에 대하여 전하고 있다. 그리고 시강원의 존폐 문제에 대하여 元孫의 교육을 참작하여 결정하라는 신료들의 청에도 인조는 시강원을 서둘러 혁파하였는데 이것 역시 원손을 물리치고 봉림대군을 새 세자로 책봉하려는 인조의 의도에 의한 것이었음을 볼 수 있다

병자호란 직후(1637~1644) 朝淸 관계에서 淸譯의 존재

In this article, the existence and role of the so-called Cheongyeok(淸譯) are examined. Since the end of the Byeongja Horan, for 8 years(1637~ 1644) Cheong Dynasty engaged Meong Dynasty troops, and in the process Cheong ordered huge amount of economic and military support from Joseon. In such times, the role of the interpreters was critical, to say the least. The term Cheongyeok" referred to all the entities engaged in interpreting tasks, including interpreters on both the Joseon side and the Cheong side, and that was because in most cases the interpreters on the Cheong side were Joseon people as well. At the time, Joseon decided to officially serve Cheong, and acknowledge the Manchu language. At the time the study of interpretation of the Manchu language referred to as Cheonghak(淸學)". The books for Cheonghak was written by Shin Kye-am(申繼黯), he was newly learned the Manchu language and script in Shimyang(瀋陽). During this time, the Crown prince Sohyeon(昭顯世子) of Joseon was held in Shimyang as a hostage. And Joseon was obliged to comply with the requests made by the Cheong dynasty, the Great country. So, a lot of interpreters are active in Shimyang. Yet the interpreters from Cheong played a much bigger role in communication between the two countries. Among them Jeong Myeong-Su (鄭命壽) was the most famous. Most of the issues or communications regarding Joseon was relayed through him. Dealing with Joseon, he abused his power given to him by Cheong. And Joseon offered him bribery and governmental seats, in order to examine the Cheong situation and be prepared for any future requests. Such events were inevitable when Cheong was threatening and coercing Joseon

Design methodology of real-time control systems with end-to-end timing constraints

학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :컴퓨터공학과,2000.Docto

『瀋陽日記』와 昭顯世子의 볼모살이

『瀋陽日記』는 1637년(仁祖 15, 淸 太宗 11) 1월 30일부터 1644년(인조 22, 청 順治1) 8월 18일까지 인질로 심양에 간 昭顯世子(1612~1645)의 동정에 대하여 세자시강원에서 기록한 일기이다. 1636년 말 청이 조선을 재차 침략하자 조선은 청에 대하여 군신의 의를 맺고 明과 관계를 끊으며 왕자를 비롯한 인질을 보내고 세폐를 바칠 것 등 10여 개조를 약속하고, 1637년 1월 30일 인조가 세자와 함께 남한산성에서 나와 청 태종에게 항복 의식을 치렀다. 세자를 인질로 보내는 일에 三司의 반대와 논란이 일어나자, 소현세자는 진실로 사직을 편안히 하고 君父를 보호할 수만 있다면 신이 어찌 그곳에 가기를 꺼리겠습니까라고 하며 기꺼이 가겠다고 자청하여 봉림대군 및 재신, 시강원 관료들과 함께 심양으로 갔다. 소현세자는 2월 8일 철군하는 청의 군대와 함께 출발하여 4월 10일 심양성에 이르고 조선 사신의 객관이었던 동관에 머물다가 5월 7일 새로 지은 심양관소로 옮겼다. 이곳에서 8년을 머물다가 1644년 명이 멸망하고 청이 북경으로 도읍을 옮기게 되자 세자도 북경까지 따라 갔다가 황제의 사면령에 따라 1644년 말 돌아오게 되었다. 『瀋陽日記』는 서울대 규장각한국학연구원에 현재 8책본(奎12825-1)과 10책본(奎12825-2)의 2종이 소장되어 있는데 그 가운데 10책본은 古本이고 8책본은 후일 그것을 다시 정리한 淨寫本으로 생각된다. 그런데 이와 다른 9책본이 또 있었음이 밝혀졌다. 1909년에 伊藤博文이 규장각 도서 77종을 일본으로 반출한 사실이 있는데 그 가운데『瀋陽日記』9책이 들어있다

A Study on the Ceremony Investing the Eldest Grandson as Heir-apparent to the Throne for Jeongjo

이 글은 정조의 왕세손 책봉 과정과 의식에 대하여 구체적으로 살펴보고 그 의미를 밝히고자 하였다. 먼저 1751년(영조 27) 懿昭世孫의 책봉에 대해 『世孫冊封儀便覽』을 바탕으로 정리하였다. 영조는 왕세손 책봉의 뜻을 밝히고 곧 講書院과 衛從司 관원들을 임명하였으며, 왕세손 관련 칭호와 예물, 격식 등에 대해 인조대 왕세손 책봉의 전례를 살피고 미비점은 강정하여 世孫宮의 범례를 갖추었다. 그리고 첫돌이 지나지 않은 의소세손의 책봉의식은 경종과 사도세자 책봉의 전례에 따라 遣使受冊 방식으로 정하여 거행하였다. 이듬해 의소세손을 잃은 뒤, 영조는 왕세손 책례를 위해 강정한 내용을 편집하여 『世孫冊封儀便覽』으로 간행하고 후대에 길이 준행하도록 하였다. 정조의 왕세손 책봉은 정조가 8세가 된 1759년(영조 35)에 거행되었다. 2월에 영조는 책봉의 뜻을 밝힘과 함께 곧 강서원을 설치하고 관원을 추가로 임명하여 세손 교육을 강화하였다. 6월에 책례도감을 설치하여 의물을 조성하고 의식을 준비하는 과정은 『冊禮都監儀軌』를 통해 살펴보았다. 책례는 臨軒受冊 방식으로 거행되어, 정조는 윤6월 22일 창경궁 명정전에 나아가 영조에게 직접 책봉을 받았다. 정조의 책봉을 위해 영조는 다시 왕세손의 의장을 확대하고 『국조오례의』의 왕세자의 책봉 의식에 준하여 儀註를 마련하였다. 이렇게 하여 정조의 왕세손 책례에 이르러 세손궁의 범례와 책봉 의식이 완비되었다. 이것은 세손궁의 위상을 강화하고 왕통을 확고히 하기 위한 영조의 뜻에 의한 것이었다. This study examined the process of the ceremony investing the eldest grandson as heir-apparent to the throne of Jeongjo (正祖). It illuminated the significance of the ceremony. There was the authority of King Jeongjos investiture in the installation of Uisoseson (懿昭世孫) in 1751. King Yeongjo (英祖) appointed government officials who take charge of the education and guard for investing the eldest grandson as heir-apparent to the throne. Also he set up the appellation, terms, formalities regarding his eldest grandson and the articles for ritual. King Yeongjo arranged the process of the ceremony to publish The Manual of Investing the Eldest Grandson as Heir-apparent to the Throne (『世孫冊封儀便覽』) in 1752. There was written that descendants should follow the ceremony process as described in the manual. The ceremony investing the eldest grandson as heir-apparent to the throne of King Jeongjo was performed in 1759 when Jeongjo was 8 years old. While King Yeongjo determined Jeongjo to invest, he immediately appointed officials of Kangseowon (講書院), to intensify for grandson"s education. In June, 1759, there was installed a temporal institution, Chaeglyedogam (冊禮都監). The articles to be equipped for the ceremony were arranged according to the previous ceremony experiences. With these, the ceremony proceeding was prepared. Jeongjo was invested directly by King Yeongjo at the Myoungjeongjeon (명정전). King Yeongjo remedied ceremony"s shortcomings again to complete the formalities for the palace of the eldest grandson and the ceremony proceeding for his investiture. With above things, King Yeongjo intended to reinforce the status of the eldest grandsons palace and legitimacy.한국학중앙연구원 한국학진흥사업단에서 지원한 규장각 국가전적자료센터구축사업에 의한 논문임