XPS Study of the Interfaces of Low-temperature Si/Si Wafer Bonding

利用金属过渡层的方法实现了SI/SI低温键合.拉力测试表明,温度越高,键合强度越大.采用X射线光电子能谱对SI/SI键合界面进行了研究,结果表明,退火样品的界面主要为Au-SI共晶合金;SI-Au含量比随着退火温度的升高和刻蚀深度的增加而增大.Low-temperature wafer to wafer bonding has been achieved by using intermediate metals.Tensile test shows that the higher the bonding temperature is.The greater the bonding strengthis.The Si/Si interfaces are analyzed by using X-ray photoelectron spectroscopy(XPS).The results shows that the interface of the samples is made up of Au-Si eutectic alloy and the ratio of Si-Au increases with the annealing temperature increasing.国家自然科学基金重点基金资助项目(60837001);福建省自然科学基金资助项目(2008J0221);福建省教育厅科技项目(JB08215

西北干旱区水资源问题研究思考/Ponder on the issues of water resources in the arid region of northwest China[J]

气候变化与水资源问题是各国政府部门、学术界和社会公众普遍关注的焦点,也是西北干旱区实现跨越式发展的重要瓶颈之一.在分析前人研究成果基础之上,指出制约西北干旱区社会经济发展和生态安全的关键因素和气候变化对西北干旱区水资源的影响；进而分析西北干旱区气候变化与水资源研究中的热点和难点问题；最后基于西北干旱区水资源研究的重要性和迫切性提出目前亟待解决的研究任务与核心内容,主要包括3个方面:(1)气候变化对西北干旱区水资源形成、转化及未来趋势的影响；(2)气候变化对西北干旱区水循环过程的影响；(3)气候变化对西北干旱区水资源安全的影响