Concentration Protile of Etchant Measured by Microelectrode Technique in the Process of Chemical Micromachining

利用微圆盘电极技术,测定了KBr、L-胱氨酸和硫酸组成的刻蚀溶液体系中Pt电极表面电化学氧化产生的刻蚀剂Br2浓度分布,为约束刻蚀剂层技术(CELT)中刻蚀体系的选择和优化提供更直观的依据.GaAs表面CELT微加工实验证明了用微圆盘电极测得的表面刻蚀剂的浓度分布趋势与微加工实验所得到的结果一致.A carbon-disk microelectrode was used to investigate the surface concentration profile of etchant Br2, which was electrogenerated on the Pt working electrode. The steady state reducing currents of Br2 at different distances away from the Pt electode was measured. The concentration profile was estimated from the current-distance variation curves as a function of different sampling times. Experimentally determined concentration profiles are in good agreement with those estimated from the microetching results. The microelectrode technique has offered a good method to choose suitable etching solution for chemical micromachining.国家高新技术发展规划(863项目)(2002AA404170);; 福建省自然科学基金计划资助项目(E0520001

金属Cu表面三维齿状微图形的复制加工——约束刻蚀剂层技术 (CELT)的应用

主要介绍了一种Cu的CELT加工的化学刻蚀体系和捕捉体系 ,并通过控制刻蚀时间、刻蚀电流、刻蚀剂浓度、捕捉剂浓度等实验参数和优化电化学模板的制作工艺 ,以规整的齿状结构为模板 ,在Cu的表面实现了三维微结构的复制加工 ,得到了与齿状结构模板互补的三维微结构 ,用SEM和AFM对实验结果进行了表征 ,表征结果证明约束刻蚀剂层技术在金属三维加工方面的可行性和潜在优势。金属Cu由于具有优良的导热导电性能以及很好的延展性 ,在微系统 (也称微机电系统 )中应用广泛 ,因此对Cu的刻蚀加工对微系统技术的发展具有重要的意义。约束刻蚀剂层技术 (ConfinedEtch antLayerTechnique简称CELT)作为一种新型的微加工技术[1] ,能够加工复制出复杂三维结构 ,到目前为止 ,该技术已成功应用于Si、GaAs等材料微结构的复制加工[2 ,3]

建设全球碳循环一体化观测的协调体系

全球碳循环的观测进入综合集成观测时期，建立全球一体化观测的协调体系极为必要。以IGOS的全球一体化碳观测主题项目(IGCO)框架为基础，分析了建立全球碳循环一体化观测体系的现有基础、制度和条件需求，提出了这一体系建设目标和观测任务，其未来观测任务：碳库的规模变化、通量的大小和分配以及碳循环的过程等主要观测内容

基于文献计量的山东黄金科技格局与科技竞争力分析

运用文献计量学方法，利用中国知网（CNKI）数据库对1998—2013年之间收录的黄金勘探、开发、选冶及管理相关研究文献进行了定量分析。从发文数量、研究机构、研究热点及合作网络等方面，比较了山东黄金集团与我国黄金相关研究的发展态势，结果显示：山东黄金集团的黄金科技部署是紧随着我国黄金研究发展态势变化的，并且其在黄金领域的科研产出和影响力逐年提升，反映出山东黄金集团对黄金相关研究的重视程度不断提高。另外，从合作网络来看，山东黄金集团偏重于联合攻关黄金生产与安全环节的科技瓶颈