Preliminary Research on Micro Vacuum Sensor Based on Field Emission of Silicon Tip

本文在目前基于场发射原理的真空传感器研究得较少，尚无成熟的、可靠的产品问世的情况下，将MEMS技术和真空微电子技术相结合，提出了一种基于纳米硅尖场发射的微真空传感器原型方案。 基于纳米硅尖场发射的微真空传感器是一种以真空微电子学中的场发射现象作为输出敏感方式，利用MEMS技术制作的，用于测量真空度大小的传感器。其结构简单，具有灵敏度高、信号易检测、易于集成、便于批量化生产等优点，在诸如真空设备、航空航天装置、医疗器械等等需要真空测量的领域中都具有巨大的市场潜力，特别是集成在真空封装的微器件里用作微器件可靠性检测方面，具有广泛的应用前景。 本文的研究工作主要包含以下几个方面： (1)在查阅...In this thesis, the MEMS vacuum sensor based on field emission of silicon tips array is brought forward firstly by integration of the MEMS technology and vacuum microelectronics technology at the situations of few researches and no usable product at present. This vacuum sensor fabricated by MEMS techniques utilizes the field emission phenomena as its sensing mechanism. It consists of cathode sili...学位：工学硕士院系专业：物理与机电工程学院机电工程系_精密仪器及机械学号：20042901

Field emission vacuum sensor

场发射真空传感器是采用MEMS加工工艺研制一种新型的基于硅尖阵列场发射原理的微型真空传感器。通过理论分析,确立了该种传感器中硅尖场发射电流与真空度的关系。并利用干法刻蚀工艺,在硅片上制作了高3.2μm,曲率半径小于70nm的200×42硅尖阵列。保持阳极与硅尖距离为1μm的情况下,可以观察到阳极电压为10V左右时开始有明显的场发射电流。实验结果表明,在10V-15V的输入电压范围内,通过测试场发射电流所得到的真空度值,其最大误差不超过10%。该真空传感器具有制作简单、易于集成、信号测量容易、自身不带密封腔等优点,具有潜在的应用前景和市场潜力。A micro vacuum sensor based on field emission of silicon tips array is brought forward firstly by integration of the MEMS technology.The relation between emission current and pressure has been introduced by theoretical analysis.200 42 tips array with 3.2μm height and below 70nm diameter has been fabricated on the silicon substrate using dry etching process.Keeping 1μm distance between the silicon tips and anode electrode,the emission current can be observed at 10V anode voltage.From test results,the micro vacuum sensor has a lower error with the range of 10-15V,which less than 10 percent can be achieved.Because this micro vacuum sensor is characterized of high sensitivity,easiness for integration and no sealing chamber in the sensor,it has very promising applications and potential market.国家自然科学基金(No.50675184);; 福建省科技计划重点项目(No.2002H022);; 回国留学人员基金;; 厦门大学新世纪优秀人才基金资

秭归县医院楼群拆除爆破设计与施工

三峡库区秭归县医院楼群包括10座不同高度、不同布置形式、同样砖结构的楼房,经预处理后成为15座独立的建筑物。采用控制爆破方法一次起爆将这些建筑物拆除。文中以住院部大楼的拆除为例,介绍了爆破方案和参数的确定,起爆网络设计以及施工的基本情况。爆破取得了良好效果

慢性乙肝和慢性重型乙肝患者血单核细胞Toll 样受体2的变化

【目的】 探讨慢性乙型肝炎和慢性重型乙型肝炎患者外周血单核细胞Toll样受体2（TLR2）的变化情况及其意义。【方法】 随机选取慢性乙型肝炎患者31例，设定为慢性乙型肝炎组，慢性重型乙型肝炎患者30例设定为慢性乙型肝炎组，健康志愿者30例为正常对照组，用流式细胞仪检测各组外周血单核细胞表面Toll样受体2的表达，ELISA法检测血清肿瘤坏死因子α（TNF-α）的水平，荧光定量PCR法检测血清HBV DNA并取对数作为复制水平的指标，总胆红素（TB）和凝血酶原时间（PT）的检测按照本院常规检测。三组均数间的比较采用单因素方差分析和Scheffe 检验进行两两间的比较；两组计量资料间的比较采用Mann-Whitney U秩和检验；两组数据间的相关性分析采用线性相关分析；P<0．05为有统计学意义。【结果】 正常对照组、慢性乙型肝炎组及慢性重型乙型肝炎组外周血单核细胞TLR2表达强度和外周血清TNF-α水平均分别为（21．5 ± 2．7）MFI、（39．0 ± 4．1）MFI、（47．7 ± 21．4）MFI和（54 ± 38）ng/L、（164 ± 90）ng/L、（360 ± 140）ng/L，依次逐渐升高，且各组间比较均具有显著性差异；外周血单核细胞TLR2表达水平与血清TNF-α表达水平呈现显著的正相关。慢性重型乙型肝炎组与慢性乙型肝炎组TB，PT和血清HBV DNA对数值分别为（470 ± 225）μmol/L与（101 ± 131）μmol/L， （35．1 ± 21．1）s与（15．4 ± 2．2）s和5．9 ± 2．0与5．4 ± 1．6；慢性重型乙型肝炎组与慢性乙型肝炎组比较，TB、PT显著升高而血清HBV DNA对数值无显著性差异；外周血单核细胞TLR2表达水平与TB及PT呈现显著的正相关，但与血清HBV DNA对数值间无显著的相关性。【结论】 TLR2可能与慢性乙型肝炎及慢性重型乙型肝炎的发病有关

轉念SecondThought

[[abstract]]主角因為常常愁眉苦臉，所以他身邊所發生的事情都認為是不好的，例如他經過了一片綠地看見的花朵，但他卻認為花朵要把蝴蝶蜜蜂給吃掉。 之後走著走著不小心被石頭絆倒，生氣的踢了它一腳，而石頭漸漸變大轉變成土石流，主角嚇著往前奔跑，沒想到又看見了兩隻恐龍正互相搶著肉，大聲嘶吼著。 最後主角在遠方看見熱鬧的人群，靠近一看竟然是隻面帶微笑的布偶，布偶正微笑的發送氣球，布偶看見了主角，特別在氣球上畫了些圖案，親自交給了主角希望他能感受到心意，主角看著氣球，臉也緩緩的露出了微笑，而主角轉過身往回走，發現景色依舊，只是當時的不好似乎都變得不這麼討厭... 剛剛經過了那兩隻恐龍，其實是小孩子開心的玩扮家家酒所發出的嬉鬧聲，再往前走發現那些土石流其實是錢袋中所掉出的錢然而他經過的那朵花，其實是綻放出花朵的姿態，而蝴蝶與蜜蜂正採拾著甜美的花蜜，最後氣球漸漸往上飄起，原來這顆氣球的上面是個笑臉，主角最後了解到應該用正面的能量看待一切事物，原來只要有了笑臉，看待所有的事物都會變得更加美好