3 research outputs found
Novel Photostructurable Polymer for On-Board Optical Interconnects Enabled by Femtosecond Direct Laser Writing
Die integrierte Optik hat sich als vielversprechende Lösung für elektronische Verbindungen erwiesen, die eine hohe Bandbreitendichte und einen geringen Stromverbrauch ermöglicht. Seit kurzem ist es möglich photochemische und physikalische Reaktionen auf ein Mikrovolumen zu begrenzen. Dies hat der optischen Verbindungstechnik unter Verwendung von Glas oder Polymer eine zusätzliche Dimension verliehen. Dreidimensionale Wellenleiter können das optische Signal zwischen Blöcken aller Dimensionen verbinden, kombinieren oder aufteilen. Die Erhöhung des Brechungsindex ist jedoch immer noch eine Herausforderung für die Herstellung stabiler Freiform- und monomodaler Wellenleiter mit dreidimensionaler Ausdehnung, welche sich innerhalb der Platine befinden.
Diese Dissertation stellt ein neues Konzept vor, um dieser Herausforderung zu begegnen, indem direktes Femtosekunden-Laserschreiben in Polymer und externe Diffusion eines gasförmigen Monomers verwendet wird. Direktes Laserschreiben mit Zwei-Photonen-Absorption wurde verwendet, um die Vernetzung entlang eines vorher definierten Pfades zur Bildung des Wellenleiterkerns zu initiieren. Es wurde ein ausreichender Brechungsindexkontrast erzeugt, um gaußförmige Strahlen mit einem Modus zu führen. Feature-Größen konnten durch Variieren der Scangeschwindigkeit und der Laserintensität linear angepasst werden. Dieses Herstellungsverfahren erfordert nur eine Schicht eines einzelnen Materials ohne Masken-, Kontakt- oder Nassbearbeitung.
Durch Verwendung dieser neuartigen Methode wurden dreidimensionale optische Wellenleiter-Arrays, Fan-in/Fan-out- und Splitter-Strukturen hergestellt. Dreidimensionale freiforme Wellenleiter haben ein hohes Potential zur Verbesserung der Packungsdichte und Flexibilität optischer Verbindungen auf Platinenebene
Simulation, Herstellung und Charakterisierung von integrierten optischen Wellenlängendemultiplexern auf Polymerbasis mittels Laserdirektlithographie
In der vorliegenden Dissertationsschrift wird die Realisierbarkeit einer polymeroptischen
Auswerteeinheit mittels Laserdirektlithographie gezeigt. Die Arbeit adressiert neben der
Simulation auch die Herstellung, Charakterisierung und Evaluieren von ausschließlich aus
Polymermaterialien hergestellten Arrayed Waveguide Gratings (AWG). AWG sind
integrierte optische Wellenlängendemultiplexer und werden in dieser Arbeit zur
Detektion von optischen Wellenlängenverschiebungen verwendet. Im Besonderen wird
dabei der Fokus auf die Herstellung der AWG mittels Laserdirektlithographie gelegt.
Die zurzeit am Markt erhältlichen AWGs werden zum größten Teil aus Silizium oder
anderen Halbleitermaterialen gefertigt. Die Herstellung solcher anorganischen Bauteile
ist aufwendig, erfordern viele Prozessschritte unter Reinraumbedingungen und sind damit
sehr kostenintensiv. Polymere bieten unter diesen Gesichtspunkten eine kostengünstige
Alternative zu den anorganischen Materialien, da sie wesentlich preiswerter zu erwerben,
einfacher zu verarbeiten und entsprechend auch kostengünstiger in der Produktion sind.
In dieser Arbeit wird erstmals ein Polymer-AWG präsentiert, welches ausschließlich
mittels Laserdirektlithographie hergestellt wurde. Diese maskenlose
Lithographiemethode zeichnet sich vor allem durch ihre Flexibilität aus, was dieses
Verfahren besonders für Anwendungen im Bereich der Entwicklung und Forschung oder
für die Produktion von Kleinstserien prädestiniert. Neuerungen im AWG-Design können
durch einfache und effizient implementierbare Änderungen der Grafikstrukturdatei
vorgenommen werden. Wegen der inhärenten Ähnlichkeit mit maskenbasierten
Lithographiemethoden kann der Prozess problemlos in eine andere Methode mit
höherem Durchsatz überführt werden, sobald das optimale Design mit der gewünschten
Funktionalität identifiziert wurde.
Neben ausführlichen Simulationen, um die idealen Abmessungen der AWG unter
Berücksichtigung der Möglichkeiten der verwendeten Herstellungsmethode und den
Parametern der verarbeiteten Materialien zu finden, wurden umfangreiche Studien zur
Optimierung der Parameter für das verwendete Lithographiesystem angestellt.
Aufbauend auf diesen Erkenntnissen wurden AWG mit 3 und 16 Ausgangskanälen auf
einer Cycloolefin-Copolymer- beziehungsweise Polyimid-Substratfolie mit dem Co-Polymersystem EpoCore und EpoClad hergestellt. Diese wurden anschließend bezüglich
ihrer Temperatur- und Polarisationsabhängikeit sowie ihrer Transmissivität untersucht.
Die AWG wurden für eine Mittenwellenlänge von λ = 850 nm konstruiert und besitzen
einen Kanalabstand von Δλ = 1 nm sowie einer Halbwertsbreite von FWHM = 1 nm
beziehungsweise 0,7 nm.
Abschließend konnte mit dem Vermessen mehrerer Lade- und Entladezyklen eines
Lithium-Ionen-Akkumulators eine mögliche Anwendung für das Polymer-AWG erfolgreich
demonstriert werden.In the present dissertation the feasibility of a polymer optical evaluation unit using direct
laser lithography is shown. This work addresses not only the simulation but also the
production, characterization and evaluation of arrayed waveguide gratings(AWGs), made
exclusively from polymers. AWGs are integrated optical demultiplexer structures and are
used in this work for the detection of optical wavelength shifts. Specifically, the
production of AWGs using direct laser lithography is discussed. The majority of AWGs
currently available on the market are made from silicon or other semiconductor materials.
The manufacture of such inorganic components is complex, requires numerous process
steps under clean room conditions and therefore very expensive. Polymers offer a costeffective alternative to inorganic materials, as they are much cheaper to purchase, easier
to process and therefore more cost-effective to produce. In this work, a polymer AWG is
presented for the first time, which was produced exclusively by direct laser lithography.
This maskless lithography method is highly flexible, which makes this process particularly
suitable for applications in the field of development and research or in the production of
small series. Changes to the AWG design can be made by a simple and inexpensive change
of the design file. As soon as the optimal design with the desired functionality has been
found, the process can be easily converted to another method with higher throughput
due to its inherent similarity to mask-based lithography methods.
In addition to the extensive simulations to find the ideal dimensions of the AWG, taking
into consideration the applied manufacturing method and parameters of the materials
processed, extensive studies were carried out to find suitable parameters for the utilized
lithography system. Based on these results, AWGs with 3 and 16 output channels were
produced on a cycloolefin-Copolymer or polyimide substrate with the polymer system
EpoCore and EpoClad. The structures were examined with regard to their temperature
and polarization dependency as well as their transmission function. The AWGs were
designed for a center wavelength of λ = 850 nm and have a channel spacing of Δλ = 1 nm
and a half width of FWHM = 1 nm or 0.7 nm. Lastly, by measuring several charge and
discharge cycles of a lithium-ion battery, a possible application of the polymer AWG was
successfully demonstrated