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Characterization of MEMS Coriolis Vibratory Gyroscopes
A MEMS Gyroscope is a micromachined inertial sensor that can measure the angle of
orientation or the angular rate of rotation. These devices have the potential to be used in
high precision navigation, safety and consumer electronics applications.
Due to their complexity, MEMS Gyroscopes are prone to have imperfections that
inhibit their full potential. By deeply characterizing these sensors, it is possible to validate
fabrication methodologies, apply control circuit mechanisms, and design alternative
mechanical structures that improve the performance.
In this project, a streamlined methodology for testing and characterizing these devices
is presented and executed. Analysis to the obtained results is given. Aditionally, a
prototype circuit was designed to operate the sensors in a closed-loop mode.
Two families of gyroscopes with different thickness were characterized - 40 m and
100 m. The devices presented low sensitivity thresholds due to the presence of a large
quadrature error. A phase sensitive demodulation solution was provided to eliminate
this noise source. The 40 m presented an overall better performance. A Python Script to
extract key noise performance parameters was also displayed.Giroscópios MEMS são micro sensores inerciais que conseguem medir o ângulo de orientação
ou a variação ângular de uma rotação. Estes dispositivos têm o potencial de ser usados
em aplicações de alta precisão para sistemas de navegação, segurança e para eletrónica
comercial.
Devido à sua complexidade, os Giroscópios MEMS são propensos a imperfeições que
inibem o seu potencial máximo. Através da caracterização extensa destes sensores, é
possível validar as metodologias de fabricação, aplicar circuitos de controlo e projetar
estruturas mecânicas alternativas que melhorem a sua performance.
Neste projeto é apresentada uma metodologia substanciada para testar e caracterizar
estes dispositivos. Os resultados obtidos foram analisados. Adicionalmente, foi desenhado
um protótipo de um circuito que opera os sensores em circuito fechado.
Duas famílias de giroscópios com diferentes espessuras foram caracterizadas - 40 m
e 100 m. Os dispositivos apresentaram baixos graus de sensibilidade devido a uma forte
influência do erro de quadratura. Foi aplicada uma demodulação sensível à fase para
melhoramento da performance. Um programa em Python para extrair parâmetros de
ruído na resposta é apresentado