TÉCNICA DE INTERCAMBIO IÓNICO EN VIDRIO APLICADA A LA FABRICACIÓN DE CIRCUITOS DE ÓPTICA INTEGRADA (ION- EXCHANGE ON GLASS TECHNIQUE APPLIED TO INTEGRATED OPTICAL CIRCUITS FABRICATION)

Abstract

Resumen En este trabajo se reporta la fabricación y caracterización de circuitos dieléctricos de óptica integrada de diferentes dimensiones mediante la técnica del intercambio iónico en vidrio con sales de potasio Na+/K+. Se reporta la optimización de los parámetros experimentales en el proceso de fotolitografía involucrado, así como también la caracterización de los circuitos fabricados. Por primera vez se muestra la imagen de la superficie de las guías de onda canal obtenidas mediante intercambio iónico en substratos de vidrio. Los circuitos dieléctricos fabricados de menores dimensiones presentan aplicaciones potenciales como estructuras básicas de dispositivos para interconexión con fibras ópticas dentro del ámbito de las telecomunicaciones o en aplicaciones de sensado biológico. Palabras Clave: circuitos dieléctricos, guías de onda, óptica integrada, intercambio iónico, fotolitografía. Abstract In this paper are reported the integrated optical circuits fabrication by ion-exchange on glass. This technique includes a photolithography process and the ion exchange in a potassium molten salt. The involved optimized experimental parameters are included and the near field optical characterization of fabricated devices. This is present, by first time, the image of glass optical waveguides surface obtained through the Na+/K+ ionic-exchange. Finally, the potential applications of the optical circuits fabricated are discussed. Keywords: dielectric circuits, waveguides, integrated optics, ion exchange, photolithography