Comunicação apresentada no Workshop do Grupo de Revestimentos Funcionais (GRF), Braga, Dezembro 2001.A microelectrónica, estando presente numa gama extensa de produtos que vão desde as
comunicações aos transportes, passando pelos sectores doméstico, industrial e militar,
desempenha cada vez mais um papel fulcral na economia e no desenvolvimento. Hoje em
dia é possível integrar num só circuitos funcionalidades equivalentes às de sistemas mais
volumosos, o que conduz à miniaturização dos equipamentos, mais elevados níveis de
fiabilidade e desempenho, e ainda à redução de custos. Nos últimos anos deu-se em paralelo com o desenvolvimento da microelectrónica o aparecimento de microtecnologias (Ex.: micromaquinagem, microlitografia, microfabricação), direccionadas para a implementação de microdispositivos (microssensores, microactuadores) no silício. muitas vezes também integrados com electrónica no mesmo substrato de silício. Estas novas tecnologias, em especial a micromaquinagem, revelam elevado potencial para o desenvolvimento de microssistemas
(designação para sensores e/ou actuadores integrados com electrónica no mesmo
substrato de silício). A miniaturização, o fabrico em larga escala a baixos preços e a
portabilidade destas soluções despertou o interesse da indústria de que são exemplo: as
telecomunicações, a indústria automóvel e as aplicações biomédicas.Fundação para a Ciência e Tecnologia
