Mise au point et caractérisation de scellement anodique

Abstract

National audienceLa soudure anodique est une technique d’assemblage qui permet la réalisation de composant à l’échelle du micron. Cette technique qui a pour principe de souder deux plaques (verre/silicium) appelées wafers nécessite des étapes préalables. Au vue des prix des machines utilisées pour la soudure anodique, les abaques existent pour les matériaux standards. Cependant pour ce projet nous utilisons des matériaux résistif, fin avec cavité