Ce mémoire rapporte les détails de la fabrication de résonateurs supraconducteurs utilisant
la technologie des GIS (guides d'ondes intégrés au substrat). L'informatique quantique est
un secteur de recherche en évolution. La recherche dans ce secteur se concentre actuellement
à maintenir la cohérence suffisamment longtemps pour permettre de réaliser les
opérations nécessaires [36]. Une des méthodes utilisées est de coupler les bits quantiques
avec des résonateurs. Deux types de résonateurs sont principalement utilisés, soit les résonateurs coplanaires et les cavités 3D. La technologie des guides d'ondes intégrés au
substrat devrait permettre de garder les meilleurs avantages de chacune des deux autres
techniques, tout en réduisant leur plus grand défaut.
Afin de rendre les résonateurs supraconducteurs, de l'étain a été électroplaqué. Les différentes étapes nécessaires sont présentées. La caractérisation électrique des couches d'étain
est faite à l'aide d'une mesure quatre pointes. Cette mesure a pour but de trouver la
température critique. Cette température a aussi été confirmée à l'aide d'une mesure de
susceptibilité magnétique. La température de transition trouvée est de 3:8K. Ceci correspond
à la valeur de l'étain pur, ce qui indique que l'étain plaqué est de très bonne qualité.
Des résonateurs en cuivre ont d'abord été fabriqués afin de valider le procédé. La caractérisation à température ambiante des résonateurs à 10,2 GHz a permis de montrer que le
facteur de qualité est de 291. Suite à ces résultats, le procédé de fabrication a été adapté
pour faire des résonateurs en étain. La caractérisation de ces résonateurs est ensuite présentée. Celle-ci a permis de montrer que le facteur de qualité passe de 126 à température
ambiante à plus de 2000 lorsque l'échantillon passe sous 1K. La fréquence de résonance
aussi a été caractérisée. Ce qui a permis de la voir passer de 10,14 GHz à température
ambiante à 10,25 GHz à basse température. Une courte analyse explique cet effet à l'aide
de la variation des facteurs géométriques
