目前中大口径高精度先进光学元件已经广泛应用于国家重大高技术光学工程及民用高端光电系统等领域，当前其制造工序流程“高效精密/超精密磨削成形+确定性数控抛光”已相对发展成熟，但在高效磨削和抛光之间仍存在一个效率断层和损伤控制空白区，需要在保持成形精度的前提下高效地去除数十微米的表层和亚表面缺陷，且达到光学表面。在已有抛光技术领域，由于基本都采用游离磨料抛光的加工方式，可以获得很好的表面粗糙度，但是基于压力控制的进给，游离磨料抛光较难保证工件的面形几何精度，同时加工效率相对低下。由于游离磨料的加工方式存在这些不可避免的原理性问题，已有不少研究聚焦在固结磨料研抛加工。本文提出了一种采用固结磨料弹性工具...At present, precision optical components have been widely used in the field of military project and civil photoelectric. The current manufacturing process of precision optical components usually adopts "precision grinding + deterministic polishing". However, Grinding has an advantage of high removal efficiency, but leaving lots of surface damage in the workpiece after processing. On the contrary, ...学位：工学硕士院系专业：航空航天学院_机械制造及其自动化学号：1992014115287
