높은 선택비와 매끄러운 식각 표면을 갖는 BCB 식각 공정에 관한 연구

Authors
Publication date
1 January 2004
Publisher
서울대학교 대학원

Abstract

학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :전기·컴퓨터공학부,2004.Maste

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