Laser-based ultrasonics for metrology applications

Abstract

Die optische Erzeugung und Detektion von Ultraschall durch Absorption ultrakurzer Laserpulse ermöglicht die Messung charakteristischer Materialparameter. Mit einem Hochgeschwindigkeits-Anrege-Abfrage-System, basierend auf zwei zueinander synchronisierten Titan-Saphir-Lasern, können Schichtdicken von Vielschichtsystemen mit kHz-Abtastraten und einer Tiefenauflösung im sub-nm-Bereich bestimmt werden. Durch eine flexible Glasfaserkopplung eignet sich das Messsystem für große und komplexe Flächen sowie für schwer zugängliche Bereiche

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