ICP-CVD와 ELA를 이용하여 180도 온도에서 제작된 多結晶 실리콘 薄膜 트랜지스터에 關한 硏究

Authors
Publication date
1 January 2004
Publisher
서울대학교 대학원

Abstract

Thesis (doctoral)--서울대학교 대학원 :전기·컴퓨터공학부,2004.Docto

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