Optical losses of sputtered Ta2O5 films

Abstract

Visible light scattering as well as absorption measurements have been made on sputtered Ta2O5 single layers with changing the optical thickness of the film. Comparison of the results experimentally observed with those obtained from theory allowed conclusions to be drawn with respect to the dominant origins of scattering and absorption losses.Des mesures de diffusion de la lumière visible ainsi que de l'absorption ont été réalisées sur des films de Ta2O5 pulvérisés, d'épaisseur variable. La comparaison des résultats expérimentaux avec la théorie permet de tirer des conclusions relatives à l'origine des mécanismes dominants dans la diffusion et l'absorption

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