Orientadores: Jacobus Willibrordus Swart, Ednan JoanniDissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Elétrica e de ComputaçãoResumo: É implementado um conjunto de software de controle para modificação de superfícies e a fabricação de componentes através da incidência de um laser ultravioleta (UV) pulsado. Para tal é necessário realizar o controle sincronizado (por software dedicado) de uma controladora de movimentos com sistema de tempo real VxWorks, de posicionadores de alta precisão e de um laser UV de Nd:YVO4. A linguagem de programação escolhida foi Python. A finalidade do desenvolvimento do software é a utilização para o processamento de materiais, dispositivos e o tratamento de superfícies com o laser. Dentre os materiais utilizados estão: silício, vidros, alumina e polímeros. É necessário o estudo das condições ideais de trabalho para cada tipo de substrato. O software viabiliza a utilização dos componentes de forma integrada e precisa, permitindo a realização de trabalhos de microusinagem a laser, por processamento de imagens e via execução de trajetórias. Dentre as aplicações realizadas através do software implementado estão: o inchamento de polímeros (utilizado para a construção de moldes de microfluídica); o corte de células fotovoltaicas para produção de painéis customizados de energia solar; a produção de máscaras de sombra em vidro para deposição por sputtering de filmes finos e nanoestruturas em regiões pré-definidas; a escrita direta de eletrodos em substratos de alumina com deposição de ouro ou platina, para sensores de gásAbstract: It is implemented a set of control software for surface modification and manufacturing components via incidence of an ultraviolet laser (UV) pulsed. This requires performing a synchronized control (for dedicated software) of a motion controller with Real Time Operating System VxWorks, high performance positioners and a UV laser Nd: YVO4. The chosen programming language is Python. The purpose of software development is the use for processing of materials, devices and surface treatment with the laser. These materials are used: silicon, glasses and polymers. It is necessary to study an ideal working conditions for each type of substrate. The software enables the use of components in an integrated and precise manner, allowing the performance of work of laser micromachining, for image processing and track running paths. Among the applications performed by the software are implemented: the swelling polymer (used for the construction of microfluidic molds); cutting photovoltaic cells to produce customized solar panels; the production of shadow masks in glass deposition by sputtering of thin films and nanostructures on predefined regions; direct writing electrodes alumina substrates with deposition of gold or platinum, for gas sensorsMestradoEletrônica, Microeletrônica e OptoeletrônicaMestra em Engenharia Elétrica133971/2014-7CNP
