CHARACTERIZATION OF DIELECTRIC FILMS ON SEMICONDUCTOR SUBSTRATES BY LEAKY-MODES MEASUREMENT

Abstract

Le concept et la technique de mesure des modes à fuite en optique intégrée sont utilisés pour la caractérisation de films diélectriques déposés sur des substrats absorbants et de haut indice de réfraction.The concept and measurement technique of leaky modes in integrated optics are applied to the characterization of dielectric films on lossy and high index substrates

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