The Republican Unitary Enterprise Publishing House "Belaruskaya Navuka"
Abstract
Linear variable filters are one of the promising types of optical elements for creating multipurpose spectrometers. Application of this type of elements allows simplifying the optical scheme of the device significantly without great reduction of its characteristics. Using classical optical systems, linear variable filters improve the performance of optical devices. From the technology point of view, making this type of bandpass filter is a rather complex task. Current results of technology development of linear variable filters are considered in the article. In the course of work, a software was developed to calculate the distribution of condensed material on the substrate surface, taking into account the geometry of the source, substrate, masks and the whole system. Calculation of optical characteristics and analysis of the physical thicknesses of a linear variable filter were performed, and the dependence of the thickness of the coating on the coordinate of the substrate was obtained. The geometrical model for calculation was based on the geometry of the vacuum technological equipment – Advanced Optical Coater (VTE AOC), manufactured by IZOVAC Ltd. (Republic of Belarus). Based on the data obtained by using the software, the optimal geometry of the vacuum mask was proposed to obtain the required spectral gradient.Линейные перестраиваемые фильтры являются одним из перспективных видов оптических изделий для создания приборов спектрометрии различного назначения. Применение данного вида изделий позволяет без снижения характеристик значительно упрощать оптическую схему прибора. При использовании с классическими схемами линейные перестраиваемые фильтры дают возможность улучшить характеристики оптических устройств. С точки зрения технологии изготовление такого вида полосовых фильтров представляет собой достаточно сложную задачу. В статье представлены текущие результаты по разработке технологии производства линейных перестраиваемых фильтров. В ходе проведения работы было создано программное обеспечение, позволяющее рассчитывать распределение сконденсированного материала на поверхности подложки с учетом геометрии источника, подложки, масок и всей системы в целом. Проведен расчет оптических характеристик и анализ физических толщин линейного перестраиваемого фильтра, получены зависимости изменения толщины покрытия от координаты подложки. В основу геометрической модели для расчета легла геометрия вакуумного технологического оборудования Advanced Optical Coater (ВТО AOC) производства OOO «ИЗОВАК» (Республика Беларусь). Исходя из полученных данных при помощи программного обеспечения предложена оптимальная геометрия вакуумной маски для получения требуемого спектрального градиента.
