Три серии образцов покрытий Al2O3 были получены методом микродугового оксидирования при различных
условиях осаждения. Они были исследованы с помощью SEM-микроскопии с EDXS, RBS и рентгенофазового анализа XRD. Дефекты и поры в покрытии были исследованы методом позитронной аннигиляционной спектроскопии (PALS) при комнатной температуре, без вакуума. В процессе исследования не обнаружено
образование нанометровых пор. Показано, что, меняя условия электролитно-плазменной обработки, можно изменять концентрацию и соотношение разного типа вакансионных дефектов в покрытии из Al2O3.
При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/3392
