ALY NABIEH ABD EL HAMEED FOUDA

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博士学位論文の要旨及び審査結果の要旨 (Summary of Thesis(DR))othe

ALY, NABIEH ABD EL HAMEED FOUDA

Tohoku University Repository (TOUR) / 東北大学機関リポジトリ

Crystal Phase-selective Growth of Nb-dopedTiO2 Thin Films by theHelicon-Wave-excited-Plasma Sputtering Method著者 ALY NABIEH ABD EL HAMEED FOUDA号 55学位授与機関 Tohoku University学位授与番号 工博第4471号URL http://hdl.handle.net/10097/62091䋭㩷㪌㪇㪇㩷䋭䋭㩷㪌㪇㪈㩷䋭䋭㩷㪌㪇㪉㩷䋭䋭㩷㪌㪇㪊㩷䋭䋭㩷㪌㪇㪋㩷䋭

Crystal Phase-selective Growth of Nb-doped TiO2 Thin Films by the Helicon-Wave-excited-Plasma Sputtering Method

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ヘリコン波励起プラズマスパッタ法によるニオブ添加二酸化チタン薄膜堆積における構造制御

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