MOHD FAIZUL BIN MOHD SABRI

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博士学位論文の要旨及び審査結果の要旨 (Summary of Thesis(DR))othe

MOHD, FAIZUL BIN MOHD SABRI

Tohoku University Repository (TOUR) / 東北大学機関リポジトリ

PZT Driven Silicon XY Microstage forMultiprobe Data Storage著者 MOHD FAIZUL BIN MOHD SABRI号 54学位授与機関 Tohoku University学位授与番号 工博第4181号URL http://hdl.handle.net/10097/61806－  － －  －－  － －  －－  － －  －－  － －  －

PZT Driven Silicon XY Microstage for Multiprobe Data Storage

https://tohoku.repo.nii.ac.jp/?action=repository_action_common_download&item_id=98431&item_no=1&attribute_id=18&file_no=1

マルチプローブ高密度記録のためのPZT駆動シリコンXYマイクロステージ

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