透過電子顕微鏡における斜め照射超高分解能化手法の像シミュレーションによる検討

Abstract

1) 斜め照射法の分解能には限界があり、ビームの傾斜角の最適値が存在することが確認された。(本報告では、10.0mrad) 2) 本手法によるコンピュータシミュレーションの結果から、理論的に分解能が向上し、位相の揃った原子像を得られることが確認された。また、原子座標の回転による連続像を用いて、3次元再構築の可能性を提案した。しかし、これらの結果は全て理想状態下であり、なおかつ線形の結像系が保たれている場合に限ったシミュレーション像である。よって、今後は、実際の装置を使った実験と非線形の結像系に対するシミュレーション等の検討が必要となる