Películas delgadas de óxidos conductores transparentes formados de (CdO) x (ZnO) 1-x

Abstract

(PD´s) intrínsecas de (CdO)0.22(ZnO)0.78 para usarse como óxido conductor transparente; a partir de una mezcla de dos soluciones precursoras utilizadas en la obtención de PD´s de CdO y ZnO. Las PD´s se obtuvieron por la técnica de sol-gel y fueron depositadas por el método de inmersión-remosión sobre substratos de vidrio portaobjeto. El substrato recubierto fue secado a 100 ºC y sinterizado a 400ºC en atmósfera abierta; ambos durante una hora. Las PD´s fueron caracterizadas mediante espectroscopia UV-Vis, resitividad y perfilometria. Estas presentaron una transmisión óptica por arriba del 90%, resitividades del orden de 10-2 Ω-cm para espesores de alrededor de los 5500Å. Tratamiento posteriores en atmósferas controladas de forming gas y nitrógeno serán hechas a diferentes temperaturas de annealing con el propósito de alcanzar resitividades mas bajas y posteriormente las soluciones precursoras se impurificarán con F y Al con el propósito de alcanzar resitividades eléctricas del orden de 10-4 Ω-cm sin detrimento de la transmisión óptica en la región ventana. Estos valores serían ya suficientes para pensar en una aplicación a gran escala con un procedimiento de preparación más económico y sencillo que los actuales usados para la obtención de PD´s de ITO. (Indium Tin Oxide

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