AFM, Maison de la Mécanique, 39/41 rue Louis Blanc, 92400 Courbevoie, France(FR)
Abstract
Des films minces Ti1-xAlxN (0 x 1) ont été étudiés par DRX, puis par microindentation associée à de la simulation par éléments finis. Les empreintes d'indentation sont analysées à partir d'images MET sur des lames amincies par FIB. Les résultats montrent des relations entre la structure cristalline, le mode de croissance et l'endommagement des couches en fonction de x. La forte proportion de joints de grains dans les films riches en Ti permet un glissement des zones cristallines sous l'effet des contraintes de cisaillement. Les films riches en Al sont plus texturés et fragiles
