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Déconvolution des spectres de perte d'énergie des électrons

Abstract

Cet article traite de la déconvolution des spectres de perte d'énergie des électrons (EELS) qui sont utilisés pour la caractérisation des matériaux. On présente en premier lieu le modèle physique des spectres EELS, puis les méthodes de déconvolution utilisées. Des extensions des méthodes d'Egerton [2] sont notamment proposées. Une comparaison des différentes méthodes est effectuée sur des spectres EELS issus d'échantillons de nickel d'épaisseurs différentes

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