progetto e realizzazione di flussimetri e anemometri a singolo chip in tecnologia BCD6

Abstract

In questa tesi sono stati sviluppati dei sensori di portata per gas integrati su chip di silicio con possibilità di monitorare due flussi indipendenti sullo stesso chip grazie allo sviluppo di un package innovativo. I sensori di portata sono stati impiegati per realizzare un anemometro direzionale

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