Die vorliegende Arbeit befaßt sich mit der Entwicklung einer Prüfvorrichtung zur Untersuchung mikrostrukturierter Proben und Bauteile. In eine konventionelle Zugprüfmaschine wird ein neu entwickelter Lastrahmen eingebaut. In diesen Lastrahmen sind ein Kraft- und mehrere Wegmeßsysteme integriert. Mit diesen Komponenten können Festigkeitsuntersuchungen an mikrostrukturierten Proben durchgeführt werden. Zur Untersuchung des Spannungs-Dehnungs-Verhaltens von unterschiedlichen mikrostrukturierten Materialien wurde ein berührungsloses optisches Wegmeßsystem aufgebaut. Unter Verwendung einer neu entwickelten Mikroprobe, welche an das Wegmeßsystem angepaßt wurde, ist eine Ermittlung der Totaldehnung im Gleichmaßbereich der Mikroprobe möglich.
Mit Hilfe dieser Mikrozugprüfvorrichtung wurden unterschiedliche mikrostrukturierte LIGA-Materialien sowie Stahl-Mikroproben untersucht. Neben monotonen Zugversuchen wurden sowohl Versuche mit Haltezeiten als auch zyklische Versuche durchgeführt.
An mikrostrukturierten LIGA-Nickelproben mit einem quadratischen Probenquerschnitt (Kantenlänge 100 µm) wurde der Gefügeeinfluß auf das Werkstoffverhalten untersucht. Mit Hilfe von Rekristallisationsuntersuchungen konnte gezeigt werden, daß durch eine gezielte Wärmebehandlung das Verformungsverhalten der Mikrostrukturen deutlich beeinflußt werden kann. Vergleicht man die Werkstoffkennwerte, wie sie an mikrostrukturierten LIGA-Nickelproben gemessen wurden, mit Werten aus der Literatur, so sind enorme Unterschiede festzustellen. Mit diesen Untersuchungen konnte die Notwendigkeit einer Werkstoffprüfung in der Mikrosystemtechnik am Beispiel von galvanisch hergestellten (LIGA)-Nickel-Mikroproben gezeigt werden
