Pizoelektrischer Stapelaktuator und Verfahren zur Herstellung desselben

Abstract

Ein Verfahren (100) zur Herstellung eines piezoelektrischen Stapelaktuators (200), mit folgenden Schritten: Bereitstellen (110) einer piezoelektrischen Schicht (202), die eine säulenförmige Schichtstruktur aufweist, wobei aufgrund der säulenförmigen Schichtstruktur ausgehend von einem Oberflächenbereich (202a) der piezoelektrischen Schicht (202) Zwischenräume (206) mit Kanälen (206a) und Gräben (206b) zwischen benachbarten Säulen (204) in der piezoelektrischen Schicht (202) ausgebildet sind; Einbringen (120) einer leitfähigen Elektrodenstruktur (208) in die piezoelektrische Schicht (202), wobei sich die leitfähige Elektrodenstruktur (208) ausgehend von dem Oberflächenbereich (202a) der piezoelektrischen Schicht (202) in Kanäle (206a) der piezoelektrischen Schicht (202) erstreckt; Einbringen (130) eines Isolationsmaterials (210) in Zwischenräume (206) in der piezoelektrischen Schicht (202), um benachbarte Säulen (204) zumindest bereichsweise mechanisch miteinander zu koppeln; und Anordnen (140) einer Metallisierungsstruktur (212) an dem Oberflächenbereich (202a) der piezoelektrischen Schicht (202) in elektrischem Kontakt mit der leitfähigen Elektrodenstruktur (208)