Ferroelektrische Transistoren gelten als viel versprechende Bauelemente im Hinblick auf die Entwicklung neuer, nicht-flüchtiger mikroelektronischer Speicher. In dieser Arbeit werden Möglichkeiten zum Bau solcher Transistoren und daraus bestehender Speicher untersucht. Behandelt werden insbesondere Fragen des Transistoraufbaus, der Materialauswahl, der Herstellung und Charakterisierung, aber auch die Integration ferroelektrischer Feldeffekttransistoren, also der Aufbau von Zellenfeldern eines Speichers.
Zum Abschluss werden neue Ideen rund um den ferroelektrischen Transistor vorgestellt, die im Rahmen dieser Arbeit entstanden sind
