物理气相沉积界面吸附系数与薄膜组分的相互依赖关系

Abstract

以YBa_2Cu_3O_(7-δ)高温超导薄膜制备中的组分控制问题为背景,通过电子束三源共蒸发实验定性分析了Y_t,BaF_2和Cu_3种组元的吸附系数对温度、界面组分的依赖关系。结果表明:Y_t和BaF_2的吸附系数与温度、沉积界面组分的相关度非常小;Cu的吸附系数在室温沉积时也与界面组分不相关,而在300℃和600℃下高温沉积时Cu的吸附系数随着BaF_2组分的增大而显著降低。最后,借助分子动力学模拟诠释了上述规律的物理机制。此研