Numerical Simulation on the Micro-Scale Bending Induced by Pulsed Laser Beam

Abstract

利用自行研制的含热传导、冲击动力学大、变形有限元程序，模拟了小尺寸梁在脉冲激光加热条件下的变形过程。在此基础上，利用商用程序模拟了冷却及残余应力的产生，研究了激光参数（强度及分布）等对于微弯曲的影响。数值模拟结果与文献中的实验观察相吻合