Tabor数、粘着数与微尺度粘着弹性接触理论

Abstract

重点介绍在MEMS中经常遇到的微尺度粘着弹性接触的相关理论。通过以两个无量纲数-Tabor数μ(以及其相应形式)和粘着数θ的分析，以及考虑它们对于粘着力的影响，指出了粘着弹性接触理论中所隐含 的尺度效应，随着特征尺度的减小，粘着弹性接触中的表面效应愈加明显。微电子机械系统（MEMS）等领域的飞速发展，促使我们迈进了一个表面效应在许多现象中占主导地位的研究领域。本文重点介绍在MEMS中经常遇到的微尺度粘着弹性接触的相关理论。通过对两个无量纲数-Tabor数μ（以及其相应形式）和粘着数θ的分析，以及考虑它们对于粘着力的影响，指出了粘着弹性接触理论中所隐含的尺度效应，随着特征尺度的减小，粘着弹性接触中的表面效应愈加明显