一种磁控溅射法扩渗重稀土提高烧结钕铁硼矫顽力的方法

Abstract

本发明公开了一种磁控溅射法扩渗重稀土提高烧结钕铁硼矫顽力的方法，步骤为：(1)对烧结钕铁硼工件进行除锈、除油处理；(2)对处理后的烧结钕铁硼工件进行离子活化处理；(3)对步骤(2)处理后的烧结钕铁硼工件进行溅射，沉积重稀土层；(4)对沉积有重稀土层的烧结钕铁硼工件进行高温热扩散以及回火处理。本发明通过磁控溅射法制备得到渗重稀土的烧结钕铁硼，该方法使得重稀土层与烧结钕铁硼工件间的结合致密，更利于重稀土元素向磁体内部充分扩散，使烧结钕铁硼获得更高的矫顽力