衬底温度的控制方法、装置及薄膜沉积设备

Abstract

本发明公开了一种衬底温度的控制方法、装置及薄膜沉积设备。其中，所述衬底置于中空的样品台上，所述样品台的中空区域通有流通的冷却剂，通过以下方式实现对衬底温度的控制：测量流入样品台的冷却剂的温度，得到流入温度；测量流出样品台的冷却剂的温度，得到流出温度；计算所述流入温度和所述流出温度的差值；根据所述差值调节冷却剂的流量，通过冷却剂的流量来控制衬底的温度。本发明实现了衬底温度的精确控制，保证了沉积薄膜的质量，大大提高了工艺的可控性和重复性