钛合金表面渗氮层与TiAlN耦合涂层的结构及性能

Abstract

研究了在钛合金表面渗氮-离子镀TiAlN膜复合处理与单一离子镀TiAlN膜处理工艺对钛合金力学性能、海水环境下的摩擦学的影响。采用SEM S4800、XRD、XPS、纳米压痕仪,观察了薄膜的表面及截面形貌,分析了渗氮后的钛合金表面、单涂层及复合涂层的相组成变化,化学成分和元素价态,测试了两种样品硬度随深度的变化。结果表明,复合涂层中择优取向(200)晶面明显,复合涂层渗氮后基底硬度增加,薄膜硬度下降速度慢,有利于提高涂层的耐磨性,且在海水润滑作用下,短时间摩擦过程中复合涂层的磨损量最小