基于VCSEL的RCE探测器光电响应特性

Abstract

对垂直腔面发射激光器（VCSEL）及由此制成的谐振增强型（RCE）光电探测器进行分析研究。激光器的I_(th) = 3 mA、η_d = 15%、λ_p = 839 nm和Δλ_(1/2) = 0.3 nm；作为探测器，光电流谱峰值响应在839 nm，响应谱线半宽2.4 nm、具有良好的波长选择特性，量子效率5%～35%(0 V～5 V)。优化设计顶镜反射率，还能得到量子效率峰值和半宽优化兼容的VCSEL基RCE光电探测器