HF/CrO_3溶液对AlGaAs的选择性湿法刻蚀应用于楔型结构的制备

Abstract

利用动态掩膜腐蚀技术，研究了HF/CrO_3腐蚀液对各种不同组分的Al_xGa_(1-x)As (x = 0.3, 0.5, 0.65)的腐蚀速率及腐蚀表面形貌。随着HF(48wt%)/CrO_3(33wt%)的体积比由0.01变化到0.138，相应的腐蚀液对Al_(0.8)Ga_(0.2)As/Al_(0.3)Ga_(0.7)As的选择性由179降到8.6；通过调节腐蚀液的选择性，在Al_(0.3)Ga_(0.7)As外延层上制备出了倾角从0.32°到6.61°的各种斜面。当HF(48wt%)/CrO_3(33wt%)的体积比为0.028时，Al组分分别为0.3、0.5和0.65时，相应的腐蚀表面的均方根粗糙度为1.8、9.1和19.3nm。另外，还分析了腐蚀机理与腐蚀表面形貌之间的关系