纳米硅薄膜的光致发光特性

Abstract

用等离子体增强化学汽相淀积法系统制备了发光纳米硅(nc-Si:H)薄膜。讨论了晶粒尺寸和表面结构对光致发光(PL)谱的影响。用量子限制-发光中心模型解释了nc-Si:H的PL。研究了PL谱的温度特性。温度从10K上升到250K，PL峰值红移了54meV，且PL强度衰减了两个数量级