多元素测试仪测定二氧硅烷中的痕量磷

Abstract

二氯硅烷的沸点只有8.3℃,常温下呈气体状态,用常规的方法取样和检测难度很大.用高温富氢还原的方法,使二氯硅烷中的磷还原为PH_3,用气相色谱法测定.并在炉口设计了锥形惰性气氛保护炉口装置,有效的防止了氢爆.保证测试安全并能连续进样、操作简便、省时.同时利用NaOH富集,解决了主体干优杂质的问题.方法灵敏、可靠、简便、灵敏度由0.1μg/1提高到0.04μg/1