一种长波长MOEMS可调谐滤波器的结构设计和分析

Abstract

提出了一种微光机电系统（MoEMS）可调谐滤波器结构，该结构采用GaAs／AlGaAs作为下分布布拉格反射镜（DBR），GaAs和SiO_2／Si介质膜作为上DBR，空气作为腔．按照波分复用系统的性能要求对MOEMS可调谐滤波器各项参数，如带宽、峰值透射率、挠度和调谐速度等进行了分析和设计．研究了挠度和调谐速度与梁厚度、宽度、长度等参数的关系．结果表明挠度与长度成正方向变化，同梁厚度、宽度成反方向变化，而调谐速度与各参数的关系恰好相反