激光直写技术在微电极阵列制作中的应用研究

Abstract

利用激光微细熔覆电子浆料(LMCEP)技术在熔融石英玻璃上初步制作了4×4微电极阵列(MEA)----目前研究细胞电生理的常用工具之一, 在电极阵列背面利用微笔直写技术直接"写"上加温和热敏电阻, 完成了微电极阵列、电热器件和热敏器件的集成制造. 随后对电极阻抗和微加热器性能进行了测试, 并在其上培养神经细胞. 结果表明: 激光直写导线宽度与加工电流、光阑直径、电子浆料、涂层厚度和衬底材料相关; 电极和微加热器性能基本满足使用需求, 但是电子浆料成分对细胞生物活性存在一些影响. 今后将更换电子浆料材料, 提高生物相容