带有分布布拉格反射镜的波导光栅耦合器及其制作方法

Abstract

一种带有分布布拉格反射镜的波导光栅耦合器，所述耦合器采用绝缘体上的硅材料，包括：一硅衬底；一限制层，该限制层制作在硅衬底上；一顶硅层，该顶硅层制作在限制层上，在该顶硅层的表面制作有衍射光栅，在衍射光栅的一侧制作有反射光栅，在衍射光栅的另一侧为锥形波导，该锥形波导长度大于80μm，与锥形波导连接处为亚微米波导；一光纤，该光纤的一端靠近顶硅层上的衍射光栅