随着材料科学和精密加工技术迅猛发展，高精度光学元件在光电、激光、航空航天、国防等高新技术领域扮演着越来越重要的角色。这些领域对元件加工精度和表面质量的要求也在逐步提高。当前精密加工技术的研究及应用发展水平已经成为衡量一个国家机械制造业乃至整个工业水平的重要依据之一。 当精密加工行业进入追求极限加工精度的年代以来，单纯的从提升加工设备精度的方法来提高元件的加工精度已经很难再实现质的突破，就现阶段国内制造水平而言，一味的追求加工设备精度将带来的是巨大的加工成本提升却不一定能在加工精度上得到满意的成果。基于以上观点本文针对精密磨削加工过程中的各种可能影响加工精度因素的监测进行了系列的研究。因此，本...With the rapid development of materials science and machining technology, high-precision optical components are playing more and more important roles in the field of high and new technology, such as photoelectric, laser, aerospace, and even national defense industry. The requirements to machining accuracy and surface quality of Optical elements are increasing gradually. Consequently, the research ...学位：工学硕士院系专业：物理与机电工程学院_工程硕士(电子与通信工程)学号：X201218100
