微细电火花加工具有可以非接触加工、三维加工能力以及设备简单、可实施性强、加工性能与材料硬度强度无关等优点。这种方法能加工处理的材料非常广泛，不仅可以加工各种性能优良的金属、合金，还可以加工陶瓷、硅等半导体材料。因此，微细电火花加工在复杂微小零件的制作中有着独特的优越性，也得到了广泛的应用。目前，微细电火花加工的理论研究和工艺研究还存在很多问题，尤其在蚀除过程中，现在普遍采用普通电火花的加工机理来说明。微细电火花加工具有放电时间短、放电通道半径小及能量密度高等特点，所以其放电过程与普通电火花明显不同。因此，本文按照微细电火花加工蚀除过程和表面成形的先后顺序，对微细电火花窄脉宽放电加工的热源模型、...Micro-EDM(Electric Discharge Machining) has brilliant advantags in non-contact processing, 3-D machining ability as well as the equipment is simple, practical strong, processing performance has nothing to do with the material hardness, strength, etc. This method has a very wide range of materials’ processing ability, not only can process various metals and alloys with excellent properties, but als...学位：工学博士院系专业：物理与机电工程学院_机械电子工程学号：1992011015403
