Cu2ZnSnSxSe4-x（CZTSSe）具有合适的禁带宽度（1.5eV）和较高的光吸收系数（α>104cm-1），且元素储量丰富，是最具潜力的高效率、低成本新型绿色光伏材料之一。但是，CZTS材料组分容忍度和单晶区域很小，存在二次相和元素分解等问题，难以制备高质量的CZTS薄膜。目前，CZTS薄膜器件的最高转换效率为12.6%，远低于32%的理论效率。为了发展高效率、低成本的CZTS薄膜技术，大量的研究工作必不可少。 论文的第一部分，采用操作简便的单靶（等化学计量的Cu2ZnSnS4四元化合物靶材）磁控溅射法沉积CZTS薄膜。研究发现，在溅射功率为75W，压强为0.8Pa的条件下，CZT...CZTS quaternary kesterite compound is considered to be one of the most promising alternative materials for CIGS/CdTe thin-film solar cells owing to the fact that CZTS possesses a suitable direct optical band gap of ~1.5 eV, p-type electrical conductivity, and large absorption coefficient of greater than 104 cm−1. Furthermore, the Cu, Zn, Sn, and S elements are earth abundant, environmental f...学位：工学硕士院系专业：能源学院_光伏工程学号：3242013115228
